Einführung Bedienung REM XL30. TU Ilmenau/IMN Prof. Dr. L. Spieß

Transkript

1 Einführung Bedienung REM XL30 TU Ilmenau/IMN Prof. Dr. L. Spieß

2 Mikroskop Ionengetterpumpe Detektor Säule EDX- SE- Detektor Tisch-Bedienelemente Zustand Kühlung EDX-Detektor > grün-ok rot- kein LN2

3 Bedienelemente ohne gedrückten HT

4 Desktop

5 Startmenü Datenstruktur auf Rechner Ardenne.zmn.tu-ilmenau.de: Platte C: Programme, dort keine persönlichen Dateien! Platte E: Verzeichnis user alle Nutzer mit Namen, dies ist Standardverzeichnis nach Einloggen! Programm arbeitet noch mit DOS- Konventionen 8.3, keine längeren Ordner oder Dateinamen!

6 Proben, die untersuchbar sind Maximal 50x50x30 mm 3 Zur Not auch eine 4 Scheibe Kippung nicht uneingeschränkt beste Größe bis 25 mm Durchmesser, bis 4 mm dick keine Plasteingebetteten aus der Metallographie! keine losen Partikel (Kohlenstoff, Stäube,...) aufkleben auf Probenteller Durchmesser 12 oder 25 mm mit doppleseitigen Klebeband von Rolle oder mit Silberleitlack (Pads sehr hochohmig) vor Einschleusen mit Abstandshalter prüfen, ob Höhe eingehalten wird!

7 Innenkammer mit Detektoren

8 Kippung der Proben 0 Kippung, 10 mm Arbeitsabstand 25 Kippung, 10 mm Arbeitsabstand, längere Probe, Gefahr von Berührungen bei stärkerer Kippung! 70 Kippung von 12 mm Probe, 10 mm Arbeitsabstand, hier Bewegungsraum außer Z voll erhalten!

9 Hauptbildschirm

10 Vakuum in Kammer erzeugen HV-Modus <1.3E-4 ok Hochspannung an SE- Detektor wird bei 8E-5mbar zugeschaltet Pgun sollte kleiner 4 E-7 mbar sein!

11 Obere Leiste der Steuerung Mikroskop Nutzer Control Area Videoscope Blank Beam TV Scan Selectetd Area Settings Image Manip. Print Image DatabarMode CCD Auto Contrast Auto Stigmator Track Mode Measurement Freeze Image Auto Fokus Get Mode Imaging Adjustments Stage

12 Obere Leiste der Steuerung Mikroskop Nutzer Control Area Videoscope Blank Beam TV Scan Selectetd Area Settings Image Manip. Print Image DatabarMode CCD Auto Contrast Auto Stigmator Track Mode Measurement Freeze Image Auto Fokus Get Mode Imaging Adjustments Stage

13 Obere Leiste der Steuerung Mikroskop Nutzer Control Area Videoscope Blank Beam TV Scan Selectetd Area Settings Image Manip. Print Image DatabarMode CCD Auto Contrast Auto Stigmator Track Mode Measurement Freeze Image Auto Fokus Get Mode Imaging Adjustments Stage

14 Vergrößerung/Magnification Auch mit + (Verdopplung) oder - (Halbierung) oder auch mit Tracking (stufenlos) einstellbar

15 Magnification Reference

16 Detektoren I

17 Detektoren II

18 Spotsize Durchmesser Elektronenstrahl - Auflösung 1000 Wolframkathode LaB 6 Kathode Elektronenstrahldurchmesser [nm] Spotsizeeinstellung am XL30 Rasterelektronenmikroskop Anmerkung: der Wert Spotsize 8 ist am Wolframkathodengerät gemessen worden, alle anderen Werte sind dann daraus abgeleitet worden!

19 Auswahl Hochspannung/Spotsize

20 Strahlstrom/Spotsize/Hochspannung/Gun Tilt

21 Xover Überheizt und falsch justiert richtig unterheizt

22 Einfluss Spotsize/Hochspannung auf Bild/Bildschärfe/Bildqualität 30 kv 5000 x WD 15 mm Spotsize 2 (10 nm) Spotsize 4 (40 nm) Spotsize 6 (125nm)

23 Einfluss Spotsize/Hochspannung auf Bild/Bildschärfe/Bildqualität 10 kv x fache Vergrößerung 15 mm Arbeitsabstand Spotsize 1 (5 nm); 3 (20 nm) und 5 (70 nm)

24 Einfluss Spotsize/Hochspannung auf Bild/Bildschärfe/Bildqualität 10 kv 400 x Spotsize 5 und TV-Modus Spotzize 1

25 Scharfstellung Arbeitsabstand I

26 Scharfstellung Arbeitsabstand II mit CCD und Videoscop 10 mm

27 Fokussieren unter oder über Fokus Fokus

28 Scanparameter I

29 Slow Scan 1-968/1.68 Slow Scan /6.72 Slow Scan /20 Slow Scan /40 Single Scan /20-60 wird mit F2 ausgelöst Bild 360 kbyte Scannparameter 2 XHD 2420 /20-60 Bild 10 MByte

30 Scanparameter TV-Modus Scan 2 Scan 1

31 Videoscope

32 Videoscope II übersteuert Zuviel Kontrast Zu wenig Helligkeit Richtige Einstellung

33 Settings

34 Stage

35 Bildabspeicherung/Databar I

36 Bildabspeicherung/Databar II

37 Bildabspeicherung III normal 340 kbyte HD-Tiff 11 MByte

38 Bildspeicherung IV Bilder werden bei Normalspeicherung in der Y Pixelgröße gestaucht, mit Programm XL-Stretch kann diese Stauchung wieder rückgängig gemacht werden, dann gleichen sich die Bilder auch besser mit HD-tiff an! Normalabspeicherung kein Kreis mit XL-Stretch bearbeitetes Bild

39 Imaging

40 Vermessen

41 Vermessen

42 Beim Verkippen wird Bild verzerrt, kann mit Tiltkorrektur entzerrt werden. Tilt/Tiltkorrektur

43 Tilt/TiltkorrekturVerkippung Auswirkungen auf Maße und Formaussehen Ansicht, Probe 60 gekippt Vermessung ohne Tilt-Korrektur Vermessung mit Tilt-Korrektur 70 verkippt, keine Tiltkorrektur Vermessung mit Tiltkorrektur Tiltkorrektur u. dann Vermessung

44 Bilder von Kantenflanken Normal unverkippt 60 verkippt

45 SE- und BSE-Bilder Kontrastmöglichkeiten SE- Bild BSE (A+B) (Materialkontrast!) BSE A Bild BSE B-Bild BSE (A-B) (Topographiekontrast)

46 Configuration Control

47 Peltiertisch und BSE ESEM

48 ESEM - EDX