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1 Inhaltsverzeichnis 1 Einleitung 1 2 Grundlagen zum Magnetismus Atomare Beschreibung des Magnetismus Kontinuumstheoretische Beschreibung des Magnetismus Mikromagnetismus Die ferromagnetische Hysteresekurve Keimbildungsmoden Magnetische Bereichsstrukturen (Domänen) Einuss der Teilchengröÿe auf das magnetische Verhalten Mikrostrukturparameter Magnetische Datenspeicherung Longitudinale Speichermedien Senkrechte Speichermedien Zukunftskonzepte: Nanostrukturierte Speichermedien Thermisch assistiertes Schreiben XV

2 XVI INHALTSVERZEICHNIS Verkippung des Schreibfeldes relativ zur magnetisch leichten Richtung Verbundnanostrukturen Materialeigenschaften von FePt Strukturelle Eigenschaften und Phasendiagramm Magnetische Eigenschaften Substrate und Buerschichten Probenherstellung Sputterdeposition von dünnen Schichten Anlassbehandlung in Ar Atmosphäre Lithograeverfahren Photolithograe Elektronenstrahllithograe Methode 1: Elektronenstrahllithograe mit Lift-O-Verfahren Methode 2: Elektronenstrahllithograe mit Ionenätz-Verfahren Methode 3: Ionenstrahllithograe Charakterisierung der Proben Röntgendiraktometrie (XRD) Röntgenreektometrie (XRR) Elektronenmikroskopie Rasterelektronenmikroskopie (REM)

3 INHALTSVERZEICHNIS XVII Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) Analytische Elektronenmikroskopie SQUID Magnetometrie Magnetische Rasterkraftmikroskopie (MFM) Zirkularer Röntgendichroismus (XMCD) Ergebnisse: L1 0 -FePt Schichten Sputtergeheizte L1 0 -FePt Schichten Variation der Schichtdicke Kristallstruktur und Morphologie Magnetische Eigenschaften Zirkularer Röntgendichroismus Verwendung eines Au Buers Kristallstruktur und Morphologie Magnetische Eigenschaften Variation der Substrattemperatur T S Variation der Zusammensetzung Morphologie der Schichten Magnetische Eigenschaften/Intrinsische Materialparameter Mikrostrukturparameter Nachträglich angelassene L1 0 -FePt Schichten Variation der Anlasstemperatur Variation der Schichtdicke

4 XVIII INHALTSVERZEICHNIS Kristallstruktur und Morphologie Magnetische Eigenschaften Verwendung eines Au Buers Kristallstruktur und Morphologie Magnetische Eigenschaften L1 0 -FePt Schichten aus Fe-Pt Vielfachschichten Mikrostrukturparameter Ergebnisse: L1 0 -FePt/Fe Verbundschichten Geschlossene L1 0 -FePt/Fe Schichten L1 0 -FePt/Fe Verbundschichten durch Cosputtern Mikrostruktur Magnetische Eigenschaften L1 0 -FePt/Fe Verbundschichten aus Fe-Pt Vielfachschichten Nanostrukturierte L1 0 -FePt/Fe Schichten Mikrostruktur Magnetische Eigenschaften Gradientenartige L1 0 -FePt/Fe Grenzäche Optimierung der Durchmischung Variation der Dicke des graduellen Bereiches Analyse der graduellen Grenzäche

5 INHALTSVERZEICHNIS XIX 9 Ergebnisse: Regelmäÿige Nanostrukturen L1 0 -FePt Nanostrukturen Methode 1: Elektronenstrahllithograe mit Lift-O Verfahren Variation der Schichtdicke Variation der Anlasstemperatur Variation der Strukturgröÿe Analyse der Au Diusion Methode 2: Elektronenstrahllithograe mit Ionenstrahlätzen Mikrostruktur Magnetische Eigenschaften Mikrostrukturparameter Methode 3: Ionenstrahllithograe (FIB) L1 0 -FePt/Fe Verbundnanostrukturen Diskussion L1 0 -FePtSchichten Wärmebehandlung Einuss der Schichtdicke Einuss einer Au Buerschicht Einuss der Zusammensetzung/Intrinsische Materialparameter Kristallstruktur und Ordnungsparameterbestimmung Vergleich unterschiedlicher Herstellungsmethoden

6 XX INHALTSVERZEICHNIS 10.2 L1 0 -FePt/Fe Verbundschichten Einuss der Fe Schichtdicke Einuss der Grenzäche Vergleich verschiedener Herstellungsmethoden Regelmäÿige L1 0 -FePt Nanostrukturen Einuss der FePt Schichtdicke Einuss der Anlassbehandlung Einuss der Dotgröÿe Einuss von Fe Einuss der Herstellungsmethode Mikrostrukturparameter Zusammenfassung 187 A Herleitung des Ordnungsparameters S 197

Inhaltsverzeichnis XIII

Inhaltsverzeichnis XIII Inhaltsverzeichnis 1. Einleitung...1 2. GrundlagendesMagnetismus...5 2.1. GrundtypendesMagnetismus...5 2.1.1. Diamagnetismus...5 2.1.2. Paramagnetismus...7 2.1.3. Ferromagnetismus...8 2.1.4. CurieTemperatur...10

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1 3 0 4 0 6 0 9 0 9 0 9 0 7 0 8 0 1 0 2 0 7 0 6 0 9 0 0 0 5 0 6 0 9 0 6 0 0 0 0. 0 1. 0 1 0 8 0 6 0 6 0 9 0 5 0 6 0 4 0 7 0 8 0 6 0 7 0 4 0 8 0 6 0 6 0 6 0 3 0 2 0 9 0 2 0 1 0 6 0 8 0 4 0 7 0 5 0 5 0 8

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