Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten mit Computertomografie Rückführung für Normale und Messobjekte

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1 Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten mit Computertomografie Rückführung für Normale und Messobjekte Ralf Christoph 1, Wolfgang Rauh 1 1 Werth Messtechnik GmbH, Siemensstraße 19, D Gießen, Tel: , Fax: , mail@werthmesstechnik.de Kurzfassung Die Kombination der Computer-Tomografie (CT) mit Verfahren und Komponenten der Koordinatenmesstechnik führt zu Systemen, deren Genauigkeit den Einsatz in der Fertigungsmesstechnik ermöglicht. Die Erweiterung dieser Messgeräte zu Multisensor-Koordinatenmessgeräten führt sowohl zur Erweiterung der Anwendungsmöglichkeiten als auch zur Erhöhung der erzielbaren Genauigkeit bei Messungen an realen Werkstücken. Die Konzepte von Multisensor- Koordinatenmessgeräten mit CT, ihre Genauigkeit, Spezifikation sowie Aspekte der Messunsicherheit werden erläutert. Es werden Messergebnis mit und ohne Anwendung der Multisensor-Erweiterung dargestellt und diskutiert. Keywords: Koordinatenmesstechnik, CT, Multisensorik, Rückführung 1 Einleitung Mit den heute zur Verfügung stehenden, modernen Multisensor-Koordinatenmessgeräten ist es aufgrund der Vielzahl der integrierten Sensoren wie beispielsweise berührende Tastsysteme, Bildverarbeitung, Lasersensoren und taktil-optischem Fasertaster möglich eine Anpassung an praktisch alle Anwendungen zu erzielen und Werkstücke mit hoher Zuverlässigkeit zu messen [C07]. Trotz hoch entwickelter, schneller Scanning-Verfahren zum Erfassen von Messpunkten auf der Werkstückoberfläche ist die Erfassung der kompletten Werkstückgeometrie vergleichsweise zeitaufwändig. Für solche Anwendungen kann der Einsatz der Röntgen-Computertomografie vorteilhaft sein. Die ersten Ansätze zur Anwendung der Computertomografie in der Koordinatenmesstechnik beruhten auf Systeme, die aus dem Bereich der zerstörungsfreien Materialprüfung stammen und für die dort vorhandenen Anforderungen konzipiert waren. Anforderungen aus dem Bereich der Messtechnik wurden in diesen Systemen folglich nicht oder nur ansatzweise Rechnung getragen. Beschränkte Langzeitstabilität der Anlagen, fehlende Korrekturverfahren für Temperatureinflüsse und Geometriefehler, nicht vorhandene messtechnische Auswerteverfahren und die Eigenschaften der eingesetzten strahlentechnischen Komponenten führen dazu, dass die erreichbare Genauigkeit im messtechnischen Sinn bei diesen Ansätzen auf einige 10µm beschränkt war. Diese eingeschränkte Genauigkeit sowie fehlende Softwarekonzepte für eine einfache und zuverlässige Auswertung der Daten verhinderte zunächst eine breite Anwendung im Bereich der Computertomografie in der Messtechnik. Allerdings konnte das grundsätzliche Potenzial der Computertomografie für die schnelle und vollständige Erfassung der Werkstückgeometrie und die Möglichkeiten für den Einsatz in der Koordinatenmesstechnik aufgezeigt werden. 2 Computertomografie in der Koordinatenmesstechnik Durch die Kombination der Computertomografie mit bewährten Komponenten aus der Koordinatenmesstechnik entstand in jüngster Vergangenheit eine neue Generation genauer, schneller und benutzerfreundlicher Koordinatenmessgeräte mit CT-Sensor. Wie in der Koordinatenmesstechnik 181

2 üblich, bildet die Basis dieser Geräte ein stabiles Grundgestell aus Hartgestein. Weitere Komponenten wie die Maßstäbe, Antriebe und Führungen der Verfahrachsen kommen bereits seit mehreren Jahren in den industriell weit verbreiteten Koordinatenmessgeraten der Baureihen VideoCheck und ScopeCheck zum Einsatz. Diese bewährten gerätetechnischen Komponenten sowie Software- Werkzeuge zum genauen Einmessen und Korrigieren der Vergrößerungen, mechanischen Achsen sowie 3D-Geometrie der Geräte gewährleisten die erforderliche Stabilität und Genauigkeit für messtechnische Anwendungen. Die für die Computertomografie benötigten Softwarekomponenten für die 3D-Rekonstruktion, Berechnung der Werkstückoberfläche sowie Ansteuerung der röntgentechnischen Komponenten wurden vollständig in de Messgeräte-Software WinWerth integriert. Diese Software ist ebenfalls seit vielen Jahren in der Multisensor-Koordinatenmesstechnik eingeführt und ermöglicht nun auch das Erfassen und Auswerten von Daten mit Röntgen- Computertomografie. a) b) Abbildung 1: Koordinatenmessgeräte mit CT-Sensor. a) Werth TomoCheck [W06], b) Werth TomoScope HV [W07] Zur Anpassung an unterschiedliche Anwendungsbereiche werden Koordinatenmessgeräte mit CT- Sensor mit unterschiedlichen Röntgen-Komponenten (Röntgenröhre, Detektor) ausgestattet. Der Einsatz von Mikrofokus-Röntgenröhren mit relativ niedrigen Beschleunigungsspannungen von z.b. 130kV führt in Verbindung mit kompakten, hoch auflösenden Detektoren mit einer Pixelgröße von z.b. 50µm zu Systemen, die besonders für Messungen von Kunststoffteilen mit maximalen Abmessungen von etwa 200mm geeignet sind. 182

3 Werkstück Sehfeld a) b) Abbildung 2: Prinzip der Raster-Tomografie. a) Tomografie ohne Raster-Tomografie - das Werkstück wird vollständig in einem Bild erfasst. b) Tomografie des Werkstücks mit Raster-Tomografie (hier 6 Teilbilder) ermöglicht die Erhöhung der Voxelzahl () um den Faktor der Anzahl Teilbilder. Gleichzeitig wird die Auflösung um den gleichen Faktor gesteigert. Die Verwendung leistungsstärkerer Röhren und größerer Detektoren ermöglicht die Realisierung von Koordinatenmessgeräten mit größerem Messbereich und der Möglichkeit zur Messung von Metallteilen. In Abbildung 1 sind zwei verschiedene Koordinatenmessgeräte mit CT-Sensor dargestellt. Das Gerät in Abbildung 1A ist speziell für hochgenaue Messungen an Kunststoffteilen und Mikrobauteilen ausgelegt. Alle Achsen sind mit präzisen Luftlagern und hoch auflösenden Glasmaßstäben ausgestattet. Das Gerät in Abbildung 1B wurde für das Messen größerer Werkstücke aus unterschiedlichen Materialien konzipiert. Hier kommt eine leistungsstarke Mikrofokus- Röntgenröhre mit 225kV in Verbindung mit einem großflächigen Detektor (400mmx400m, 2000x2000 Pixel) zum Einsatz. Generell erfordert das Messen von Bauteilen deren Abmessungen in mindestens einer Richtung die Größe des Detektors (Sehfeld) übersteigt die Erweiterung des CT-Messbereichs durch die Rastertomografie. Das Prinzip der Rastertomografie wird in Abbildung 2 erläutert. Grundsätzlich werden bei der Rastertomografie in jeder Drehstellung mehrere Teilbilder des Werkstücks aufgenommen und rechnerintern zu virtuellen Durchstrahlungsbildern zusammengesetzt. Diese virtuellen Durchstrahlungsbilder sind die Eingangsdaten für die anschließende 3D-Rekonstruktion. Auf diese Art können auch kleine Objekte mit höherer Vergrößerung und somit höherer Genauigkeit aufgenommen werden. Die Rastertomografie erfordert den Einsatz zusätzlicher Verfahrachsen mit Hilfe derer die Positionierung zwischen den Aufnahmen der einzelnen Teilbilder erfolgt. 3 Multisensor-Koordinatenmessgeräte mit CT-Sensor Die Möglichkeiten der Computer-Tomografie können durch Verwendung der CT in Multisensor- Koordinatenmessgeräte signifikant erhöht werden. Wie in den folgenden Abschnitten gezeigt werden hierdurch Messungen an Werkstücken die aus mehreren Materialien bestehen ermöglicht. Weiterhin kann die erreichbare Genauigkeit durch die Kombination der CT mit anderen Sensoren erheblich gesteigert werden. 3.1 Messen von Teilen aus mehreren Materialien Bislang waren automatisierte Messungen mit CT auf Teile aus einem Material oder Materialien mit sehr ähnlichen Absorptionseigenschaften beschränkt. Dies ist einerseits auf die Notwendigkeit der Durchstrahlung aller Teile des Werkstücks zurückzuführen, andererseits fehlen aktuell auch sichere 183

4 Algorithmen für die automatische und zuverlässige Extraktion der Oberflächen aus entsprechenden Datensätzen. Soll beispielsweise ein montierter Stecker mit metallischen Kontakten und Kunststoffgehäuse vollständig gemessen werden, sind die Röntgenkomponenten so einzustellen, dass die metallischen Komponenten durchstrahlt werden, da ansonsten keine Rekonstruktion möglich ist. Diese Einstellung der Röntgenkomponenten bewirken jedoch, dass die Kunststoffteile in den Volumendaten nicht mehr erkennbar sind. Eine mögliche Lösung besteht darin, die Computertomografie mit anderen Sensoren zu in leistungsfähigen Multisensor-Koordinatenmessgeräten zu kombinieren. Abhängig von den typischen Messaufgaben des Anwenders kann die Kombination mit verschiedenen Sensoren hilfreich sein. Gilt es zum Beispiel das komplette Steckergehäuse und die Kontakte zu erfassen und mit einem CAD-Modell zu vergleichen, bietet sich die Kombination des CT-Sensors mit einem Laser-Liniensensor an. Dieser ist in der Lage eine große Zahl von Oberflächenpunkten während der kontinuierlichen Bewegung des Werkstücks schnell und mit ausreichender Genauigkeit aufzunehmen. Die Zusammenführung der vom CT-Sensor gelieferten Punktwolke der metallischen Kontakte und der vom Laser-Liniensensor erzeugten Punkte an dem Kunststoffgehäuse ermöglicht die Erzeugung und anschließende Auswertung eines Datensatzes der kompletten Werkstückgeometrie. Sind hingegen einzelne Merkmale mit höherer Genauigkeit als die des CT-Sensors zu messen, bietet sich die Kombination des CT-Sensors mit einem berührenden taster, einem Laser-Abstandssensor oder Bildverarbeitungssensor an. Hochgenaue Messungen an Mikrogeometrien werden durch die Kombination mit dem Werth Fasertaster ermöglicht, der mit Kugeldurchmessern bis zu 20µm als kleinster und genauester industriell eingeführter Mikrotaster bekannt ist. [R05]. Höchste Flexibilität für das kombinierte Messen mit CT-Sensor wird durch die Montage der zusätzlichen Sensoren an eigenen Verfahrachsen realisiert. Dies ermöglicht unabhängiges Positionieren der Sensoren und kollisionsfreies Messen. Der zusätzliche Einsatz von Dreh- /Schwenkgelenken ermöglicht Antastungen in allen Raumrichtungen. a) b) Abbildung 3: a) Sensoren im Werth TomoCheck mit Option Multisensorik: Röntgen-Detektor, Taster, Bildverarbeitungssensor mit integriertem Laser-Abstandssensor und Aufnahme für den taktil-optischen Werth Fasertaster. b) Sensoren im Werth TomoScope HV mit Option Multisensorik: Laser Liniensensor am Dreh- /Schwenkgelenk und großformatiger, hoch auflösender Röntgendetektor. 184

5 3.2 Steigerung der Genauigkeit durch Multisensorik Wie bereits erwähnt kann die Genauigkeit von CT-Messungen durch den Einsatz des CT-Sensors in Multisensor-Koordinatenmessgeräten signifikant gesteigert. Dies beruht auf der Korrektur systematischer Messabweichungen des CT-Sensors, die durch verschiedene physikalische Effekte, insbesondere Wechselwirkungen zwischen Röntgenstrahlung und Messobjekt verursacht werden. Diese Wechselwirkungen hängen von den aktuellen Gegebenheiten wie z.b. den Einstellungen des CT-Sensors, der Geometrie des Messobjekts und dessen Material ab und sind daher mit nur schwer prognostizierbar. Die Korrektur erfolgt in zwei Schritten: die Berechnung eines werkstückabhängigen Korrekturdatensatzes (nur einmalig pro Werkstückgeometrie notwendig) auf und die Anwendung des Korrekturdatensatzes für Folgemessungen an gleichartigen Werkstücken. Die für die Berechnung des Korrekturdatensatzes benötigten Messpunkte können grundsätzlich mit jedem Sensor aufgenommen werden dessen Antastabweichung geringer als die des CT-Sensors ist. Die Erzeugung des Korrekturdatensatzes erfolgt in vier Schritten: Messen der Korrekturpunkte am Werkstück mit einem hochgenauen Sensor (nur am ersten Werkstück) Aufnahme einer Punktwolke des Werkstücks mit dem CT-Sensor Berechnen der Abweichungen zwischen CT-Punktwolke und Korrekturpunkten Berechnen und Speichern der Korrekturdaten (als Berechnungsfunktion in der Messsoftware WinWerth implementiert). Nach einmaliger Berechnung der Korrekturdaten können diese automatisch für die Korrektur von Folgemessungen an Werkstücken gleicher Nominalgeometrie zum Einsatz kommen. Auf diese Art werden sämtliche systematische Messabweichungen des CT-Sensors einschließlich der gefürchteten Strahlaufhärtungseffekte, Feldkamp-Fehler oder Streustrahlungsartefakte massiv reduziert. Die Korrektur kann sowohl auf das gesamte Werkstück als auch für eingeschränkte Bereiche des Werkstücks de beispielsweise enger toleriert sind, angewendet werden. Für zeitkritische Messungen ergibt sich dadurch die Möglichkeit zur Einsparung von Auswertezeit. 185

6 CT-Punktwolke aufnehmen Jedes Teil Erstes Teil Korrekturpunkte mit Referenz-Sensor messen Abweichungen und Korrekturdaten berechnen Korrekturdaten (teilespezifisch) Korrigierte CT- Punktwolke Berechnen und Auswerten von Merkmalen Abbildung 4: Ablaufdiagramm der Werth Auto-Korrektur Im Gegensatz zu anderen Ansätzen zur Korrektur systematischer Messabweichungen verwendet die Werth Auto-Korrektur unmittelbar die Abweichungen zwischen der CT-Punktwolke und der realen Geometrie des ersten Werkstücks. Dies bedeutet, dass auch die Abweichungen der CT-Messung, die durch Materialeinflüsse und Geometrie des Werkstücks verursacht sind und deren Stärke von den aktuellen Einstellungen des CT-Sensors abhängen in ihrer realen Ausprägung erfasst und korrigiert werden. Es sind weder spezielle Normale, Prüfkörper oder Referenzgeometrien am Werkstück notwendig, noch wird ein CAD-Modell mit idealisierter, nur theoretisch korrekter Geometrie des Werkstückes benötigt, wie dies beispielsweise für Simulationsrechnungen für die Durchstrahlung benötigt wird. 4 Genauigkeit Unter den Begriff Genauigkeit wird umgangssprachlich alles verstanden, was die Präzision von Messergebnissen charakterisiert. Im Detail zeigt sich jedoch, dass zwischen verschiedenen Kategorien zu unterscheiden ist. Die Spezifikation eines Koordinatenmessgerätes erfolgt durch die Angabe definierter Kenngrößen zur Kennzeichnung der messtechnischen Leistungsfähigkeit des Gerätes sowie Verfahren zur Ermittlung dieser Kenngrößen und Überprüfung des Gerätes. Der Begriff Messunsicherheit bezieht sich auf Verfahren zur Ermittlung der Unsicherheit von Messergebnissen beim Messen von Merkmalen an Teilen unter Betrachtung aller Einflussfaktoren. 4.1 Spezifikation Bislang sind keine verbindlichen Richtlinien zur Angabe und Überprüfung von Spezifikationen für Koordinatenmessgeräte mit CT-Sensor verfügbar. Ein Ansatz hierfür ist die Übertragung der 186

7 Kenngrößen (z.b. MPE E und MPE PS bzw. MPE PF) die in DIN EN ISO [ISO] eindeutig definiert sind und ihre Anpassung auf die Bedürfnisse und Besonderheiten der CT. Die Anwendung dieser Vorgehensweise in der Praxis zeigt, dass die Übertragung auf Koordinatenmessgeräte mit CT- Sensor möglich ist und die Angabe sinnvoller Kennwerte ermöglicht. Anhand dieser Kenngrößen kann einfach überprüft werden, dass das Koordinatenmessgerät den Angaben des Herstellers genügt. Für das derzeit genaueste Koordinatenmessgerät mit CT-Sensor wird vom Hersteller eine Längenmessabweichung von MPE E3: (1,5 + L/500)µm angegeben [W06]. Die Überprüfung der Spezifikation für die Antastabweichungen MPE PF und ME PS erfolgt wie in der klassischen Koordinatenmesstechnik anhand von Kugeln. Abbildung 5 zeigt exemplarisch das Protokoll eines entsprechenden Annahmetests. Die Überprüfung der Längenmessabweichung MPE E erfolgt anhand spezieller Mehrkugelnormale, die die benötigten räumlichen Längen verkörpern und mit geeigneten Verfahren kalibriert wurden. Sämtliche Kenngrößen werden in allen vom Hersteller zur Verfügung gestellten Vergrößerungen überprüft. Die Überprüfung der Kenngrößen erfolgt grundsätzlich ohne den Einsatz der Auto-Korrektur, es sei denn, dies wird explizit angegeben. Prüfer/ Inspector: Normal / Standard: Stachelfilter: Korrektur: Sensor: Haubner CT-Kugel 6mm 15 ja/lfp MAG 2 HI Drehschritte: 400 [mm] MPE P PS PF hier Grafik einfügen TomoCheck Abbildung 5: Protokoll eines Annahmetests (MPE (P)) für ein Koordinatenmessgerät mit CT-Sensor Die beschriebene Spezifikation in Anlehnung an DIN EN ISO beschreibt die Leistungsfähigkeit des Messgerätes unter idealen Bedingungen, das heißt unter Verwendung kooperativer Materialien und einfacher Geometrien. Im Gegensatz zu konventionellen Koordinatenmessgeräten werden die Messergebnisse bei CT-Sensoren stark durch die Geometrie des Messobjekts und dessen Material beeinflusst. Deshalb kann die Rückführbarkeit der Messergebnisse an realen Werkstücken nicht ausschließlich durch Messungen an geometrischen Normalen wie Kugeln, Kugelstäben oder Endmassen gewährleistet werden. Durch die Verwendung weiterer, komplexerer Normale könnten einige Sonderfälle abgedeckt werden, eine verlässliche Rückführung von Messungen an realen Werkstücken ist aber auch so keinesfalls möglich. Die einzig sicheren Möglichkeiten hierfür sind derzeit entweder die Überprüfung der Messunsicherheit für die jeweiligen Messobjekte oder aber die Durchführung zusätzlicher Messungen am Werkstück mit rückführbaren Sensoren. Diese können besonders vorteilhaft in Multisensor-Koordinatenmessgeräten mit integriertem CT-Sensor erfolgen. Hier können die benötigten, zusätzlichen Messungen nämlich in einer Aufspannung, also ohne Teilewechsel und innerhalb einer Ausrichtung erfolgen. Dadurch entfallen zeitraubende Schritte zur erneuten Ausrichtung des Werkstücks und rechnerischem Abgleich (Registrierung) der aufgenommenen Daten. 187

8 4.2 Messunsicherheit Zusätzlich zu den bekannten Einflüssen wie z.b. Umwelt, Bediener, Kalibrierung, Messstrategie usw. wird die Messunsicherheit von CT-Messungen durch weitere Einflüsse verfälscht. Als wesentliche Einflussgrößen sind hierbei zu nennen: Einstellungen der röntgentechnischen Komponenten des CT-Sensors (Anodenstrom, Beschleunigungsspannung, Vorfilterung) zusätzliche Software-Komponenten (Rekonstruktionsalgorithmen, Bildvorverarbeitung, Oberflächenextraktion, Korrekturverfahren) Wechselwirkungen zwischen Röntgenstrahlung und Messobjekt. D L Abbildung 6: Definition von Geometriemerkmalen an einem Musterteil Ähnliche Effekte sind auch von taktilen und optischen Sensoren bekannt. Allerdings sind die materialund geometrieabhängigen Einflüsse bei diesen Sensoren im Vergleich zu CT-Sensoren typischerweise vernachlässigbar. In jüngster Vergangenheit konnte gezeigt werden, dass die Messunsicherheit von CT-Messungen durch Verwendung optimierter Komponenten auf etwa 10 µm bis 20 µm reduziert werden kann. Grundlage für diese Optimierungen sind der Einsatz stabiler Komponenten und Prinzipien zur rechnergestützten Korrektur mechanischer Fehler (CAA) und thermischer Einflüsse aus dem Bereich der Koordinatenmesstechnik in Verbindung mit dem Einsatz modernster röntgentechnischer Komponenten sowie hoch entwickelten mathematischen Verfahren für die Rekonstruktion und die Bestimmung der Oberflächenpunkte aus den Volumendaten. In Abbildung 6 und Tabelle 1 ist der Vergleich zwischen Messergebnissen mit CT-Sensor und Messungen mit einem berührenden Tastsystem dargestellt. Die Unterschiede zwischen den Messungen mit den verschiedenen Sensoren sind kleiner 10 µm. Bei der Beurteilung der Ergebnisse muss berücksichtigt werden, dass für die Auswertung der CT-Messungen alle Punkte aus der CT-Punktwolke herangezogen wurden, die dem entsprechenden Merkmal zuordenbar sind. Eine höhere Übereinstimmung zwischen den Ergebnissen der taktilen Messungen und den Messungen mit CT-Sensor kann z.b. durch Anwendung einer Vorauswahl der für die Berechnung der CT- Merkmale herangezogenen Punkte erzielt werden. Dabei werden nur diejenigen Punkte aus der CT- Punktwolke für die Berechnung der Merkmale verwendet, die nahe an den mit dem Taster aufgenommenen Messpunkten liegen. Dies bewirkt jedoch, dass die Mehrzahl der CT-Punkte und somit auch die größten Bereiche der Werkstückoberfläche nicht zu den Messergebnissen beitragen, B 188

9 sondern unbenutzt bleiben. Hierdurch wird folglich einer der wesentlichen Vorteile der Messung mit CT-Sensor, nämlich die vollständige Erfassung des Werkstücks, zunichte gemacht. Nominalwert Taktile Messung CT-Messung Abweichung CT / taktil L D B Tabelle 1: Messergebnisse für die in Abbildung 6 definierten Merkmale Eine echte Verbesserung der Genauigkeit von CT-Messungen erfordert die Korrektur der systematischen Messabweichungen der CT-Messungen. Dies ist besonders effektiv durch Verwendung der Werth Auto-Korrektur, die in Abschnitt 2 beschrieben wurde, möglich. In Tabelle 2 sind die Ergebnisse der taktilen Messungen, die Ergebnisse der CT-Messungen mit und ohne Auto-Korrektur sowie die verbleibenden Restabweichungen angegeben. Es ist ersichtlich, dass die Abweichungen durch Anwendung der Auto-Korrektur von nahezu 10 µm (Tabelle 1) auf deutlich unter 5 µm (Tabelle 2) reduziert werden können. Taktile Messung CT-Messung. Korrigierte CT-Messung. Abweichung CT korrigiert / taktil L D B Tabelle 2: Messergebnisse für die in Abbildung 6 definierten Merkmale unter Verwendung der Auto-Korrektur der CT-Punktwolke 5 Zusammenfassung Es wurde gezeigt, dass die Röntgen-Computertomografie ein leistungsfähiges Werkzeug ist, das auch für viele Anwendungen im Bereich der industriellen Koordinatenmesstechnik vorteilhaft eingesetzt werden kann. Die Verwendung der Raster-Tomografie führt zur Erweiterung der Anwendungsmöglichkeiten auf größere Werkstücke und Messung kleiner Werkstücke mit besonders hoher Auflösung, was die genaue Messung von Mikrogeometrien und Mikrobauteilen ermöglicht. Für die Spezifikation von Koordinatenmessgeräten mit CT-Sensor haben sich Kenngrößen und Vorgehensweisen nach bestehenden Richtlinien aus de Bereich der klassischen Koordinatenmesstechnik als anwendbar und zweckmäßig herausgestellt. In Hinblick auf die Gewährleistung zuverlässiger und rückführbarer Messergebnisse führt die Anwendung der Werth Auto-Korrektur zu massiven Verbesserungen. Die vorgestellten Messergebnisse an realen Werkstücken zeigen, dass ohne Multisensorik und ohne Auto-Korrektur CT-Messungen mit Messunsicherheiten im Bereich von etwa 10 µm behaftet sind. Die ist für Messungen an genauen Werkstücken meist nicht ausreichend. Es konnte gezeigt werden, dass die hierfür benötigten Messunsicherheiten deutlich unterhalb 5µm durch 189

10 Anwendung der Werth-Korrektur erreichbar sind. Somit sind mit Hilfe dieses Ansatzes auch Messungen an Präzisionsbauteilen ohne Einschränkung der Messprozesseignung möglich. Referenzen [C05] Christoph, R.; Rauh, W.; Computertomografie im Multisensor-Koordinatenmessgerät Vollständig und genau messen-. In: Quality Engineering, Leinfelden-Echterdingen: Konradin Verlag, 6/2005 [C07] Christoph, R.; Multisensor Coordinate Metrology. Landsberg/Lech: Verlag Moderne Industrie, [ISO] DIN EN ISO 10360: Geometrische Produktspezifikation (GPS) Annahmeprüfung und Bestätigungsprüfung für Koordinatenmessgeräte (KMG). Berlin: Beuth Verlag [W06] Werth Messtechnik GmbH: Produktblatt Werth TomoCheck. Firmenschrift der Fa. Werth Messtechnik GmbH, Gießen: 2006 [W07] Werth Messtechnik GmbH: Produktblatt Werth TomoScope HV. Firmenschrift der Fa. Werth Messtechnik GmbH, Gießen: 2007 [R05] Präzision mit gläserner Faser. In: Mikroproduktion, München: Carl Hanser Verlag, 1/