Serie CYV. Kolbenstangenloser Zylinder für Vakuum. ø15, ø32. Druckluftzylinder für Transfer in Vakuumumgebungen (1.3 x 10-4 Pa)

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1 Kolbenstangenloser Zylinder für Vakuum ø15, ø32 ZX ZR ZM ZY ZH ZU Z ZF ZP ZCU CYV Vakuum- Zubehör Druckluftzylinder für Transfer in Vakuumumgebungen (1.3 x 10-4 Pa) Einfacheres und kompakteres nlagendesign Da der Zylinder in einer Vakuumkammer montiert werden kann, wird das Transfersystem vereinfacht und der Platzbedarf verringert. Vakuumkammer (Transfereinheit) (Konzeptzeichnung)

2 Kolbenstangenloser Zylinder für Vakuum ø15, ø32 1 Geringe Partikelbildung Partikelbildung [Partikel/Zyklus] etriebszyklen Kontaktlose Konstruktion ufgrund der speziellen Konstruktion, bei der kein Kontakt zwischen der ussenfläche des Zylinderrohrs und der Innenfläche des Schlittens auftritt, werden keine Partikel durch Reibung erzeugt. Schlitten Zylinderrohr Kolbenstangenloser Zylinder fü Kein Kontakt Geringe Partikelbildung Durchschnittliche Partikelbildung (Partikel >0.1 µ) 0.1 Partikel/Zyklus. (tmosphärische edingungen) nm. 1) Dieser Wert gibt den ltersverschleiss anhand der Durchschnittszahl der Partikel pro etriebszyklus unter den folgenden Testbedingungen an. <Testbedingungen> Zylinder: -100 Werkstückgewicht: 5kg Durchschnittsgeschwindigkeit: 100mm/s Messumgebung: etrieb unter atmosphärischen edingungen nach ehandlung im rennofen bei 150 C über 48 Std. nm. 2) Charakteristischer Wert ohne Gewähr. nm. 3) Ein Test zur Partikelbildung wurde unter Vakuumbedingungen von 10- Pa durchgeführt. Geringe Partikelbildung 2 inearführung aus rostfreiem Stahl und Schmierfett für Vakuum mit geringer Partikelbildung Durch die Verwendung einer inearführung aus rostfreiem Stahl und eines speziellen Schmierfetts für Vakuum wurde die Entstehung von Partikeln durch die inearführung reduziert. 3 Geringe Partikelbildung Verringerte Partikelentstehung Unter Reinraumbedingungen gereinigt, zusammengebaut, kontrolliert und verpackt. Spezial-Zylinderrohr anghübe (Max. 700mm) Verwendung eines Spezial-Zylinderrohrs aus extrudiertem. uch bei langen Hüben tritt weder bweichung noch Kontakt auf, da der Zylinder fest an der asis befestigt ist und der Schlitten separat von einer inearführung gehalten wird. 4 Geringe Partikelbildung Geringe Partikelentstehung an den Hubenden Durch die Verwendung einer Dämpfung mit Sinusfunktion und eines internen Stoppers als Hubanschlag wird der ufprall gemindert und damit die Entstehung von Partikeln reduziert. ufprallbeschleunigung [m/sx] Geschwindigkeit [mm/s] Verhältnis von Geschwindigkeit und ufprallbeschleunigung

3 r hohe Reinheitsbedinungen (1.3 x 10-4Pa) Speziell ausgelegt für geringe Partikelentstehung, geringe eckage und geringe usgasung. eckage: max. 1.3 x 10-7 Pa m 3 /sek (bei normalen Temperaturen, ausser Gaspermeation) 1 Geringe eckage eckage [Pa m 3 /sec] 10 - M 10 - < 10 - > Keine Kunststoffmaterialien Kolbenstangenloser Zylinder mit Magnetkopplung ohne Druckluftleckage an den beweglichen Teilen. Geringe eckage 2 Geringe eckage Standardwert eckage-testergebnis 10 - Z? Zeit [min] Trennung von Vakuum und tmosphäre durch O-Ring-Dichtungen. Für alle Dichtungen zwischen Vakuum und tmosphäre werden statische O- Ring-Dichtungen verwendet. nm. 1) Obige Tabelle zeigt das Ergebnis des eckagetests unter Verwendung dieser Zylinderkonstruktion. nm. 2) Um eine Feineinstellung des Hubes zu ermöglichen, sind O-Ring-Dichtungen eingebaut, um das Vakuum und tmosphäre zu trennen. Wenden Sie sich für andere Dichtungsarten an SMC. nm. 1) Der Wert gibt die gemessene eckage in einer Vakuumumgebung von 10 - Pa an. nm. 2) Das angegebene Testergebnis basiert auf einem Test über 10 Minuten nach Druckbeaufschlagung des Zylinders mit Helium mit 0.1 MPa. O-Ring-Dichtung ZX ZR ZM ZY ZH ZU Z ZF ZP ZCU CYV Innensechskantschlüssel Vakuum- Zubehör 1 Geringere usgasung durch Oberflächenbehandlung lle ussenteile (aus ) wie Verringerte usgasung Verringerte usgasung z.. das Gehäuse und der Schlitten sind. Zudem sind die ussenmagnete mit Titannitrid beschichtet. nm. 1) Wenden Sie sich für andere Oberflächenbehandlungen an SMC. 2 Verringerte usgasung asermarkierung Die beschriftung erfolgt per asermarkierung. Feineinstellung am Hubende Feineinstellung von 2 bis 0mm an einer Seite möglich ( 4 bis 0mm für beide Seiten)

4 Kolbenstangenloser Zylinder für hohe Reinheitsbedinungen estellschlüssel CYV Kolbenstangenloser Zylinder für hohe Reinheitsbedinungen Kolben-ø mm 32mm Standardhub Kolben-ø (mm) Standardhub (mm) 15, , 150, 200, , 350, 400, , 600, 700 Technische Daten Kolben-ø (mm) Umgebungsdruck etriebsatmosphäre Medium Funktionsweise Prüfdruck etriebsdruckbereich eckage Max. ufheiztemperatur Umgebungs- und Medientemperatur Kolbengeschwindigkeit Hubeinstellung Dämpfung nschlussgrösse Schmierung tmosphärischer Druck bis 1.3 x 10 - ⁴ Pa (S) Druckluft und Inertgase Druckluft und Inertgase Doppeltwirkend 0.5MPa 0.05 bis 0.3MPa 1.3 x 10 - ⁷ Pa m ³/sek oder weniger (bei normalen Temperaturen, ausser Gaspermeation) 150 C -10 bis 60 C 50 bis 300mm/s -2 bis 0mm an jeder Seite (-4 bis 0mm insgesamt) Dämpfung mit Sinusfunktion (Pneumatische Dämpfung) 5/16-24UNF 7/16-20UNF Vakuumschmierfett für die inearführung und im Zylinderrohr Gewicht (kg) Standardhub (mm) Magnethaltekraft Kolben-ø (mm) Magnethaltekraft (N) Theoretische Zylinderkraft Kolben-ø (mm) Kolbenfläche (mm²) etriebsdruck (MPa) (N)

5 Kolbenstangenloser Zylinder für hohe Reinheitsbedinungen Konstruktion ZX ZR E ZM usschnitt E-E' E' ZY ZH ZU Z ZF ZP ZCU CYV Vakuum- Zubehör Pos Stückliste Pos. ezeichnung Material emerkung 1 2 Magnet Seitlicher Mitnehmer Magnet Stahlplatte chromatiert verzinkt und chromatiert Kolben Kolbendichtung Kolbenführungsband Welle Speziallager Messing/ chromatiert Dämpfungshülse Magnet Externer Schlittenmitnehmer Halter Schlitten Einsatzführungsplatte Rundkopf-Kreuzschlitzschraube Seitenplatte Seitenplatte Innensechskantschraube Federring Unterlegscheibe Platte Platte Dämpfungsdichtung /Messing Magnet Stahl / Titannitrid-eschichtung ezeichnung Material emerkung Innengehäuse Zylinderrohrdichtung O-Ring O-Ring Innensechskantschraube Innensechskantschraube Unterlegscheibe Rundkopf-Kreuzschlitzschraube Innensechskantschraube Grundplatte Zylinderrohr efestigung für Zylinderrohr Innensechskantschraube Unterlegscheibe Innensechskantschraube Unterlegscheibe Deckel oben Sicherungsring/Dämpfungsdichtung O-Ring O-Ring inearführung chromatiert nm.) In den Spalten für Material und emerkung der obigen Stückliste gilt die erste ngabe für und die zweite ngabe für

6 bmessungen Hubeinstellschraube (Innengehäuse) W H H HI H H HP 2-Senkungsdurchmesser øt Senkungstiefe TC T 2-P Gewindetiefe PC (ab Senkungsoberfläche) 4-J Tiefe JK T W R Halteschraube für Innengehäuse nm.) T Y K P F øe Tiefe ED 4-MM Gewindetiefe M 4-øD T 4-Senkungsdurchmesser ø Senkungstiefe C P QW N E Tiefe EK Q + Hub Z + Hub G 8 12 W MM M4 M6 C E H H9 0 M 6 8 N ED EK 4 6 P 5/16-24UNF 7/16-20UNF F P nm.) Siehe "Dämpfungseffekt (Dämpfung mit Sinusfunktion) und Hubeinstellung" in den produktspezifischen Sicherheitshinweisen auf S G 10 9 P H PC H Q HI QW H R HP T T J M6 M10 T JK TC K W Y (mm) D Z

7 auswahl 1 Das zulässige astmoment variiert in bhängigkeit von der Montageart des Werkstücks, der Zylindereinbaulage und der Kolbengeschwindigkeit. Die Verwendbarkeit des Zylinders lässt sich anhand der Summe (Σαn) der astfaktoren (αn ) für jede Masse und jedes Moment überprüfen. Diese darf den Wert "1" nicht überschreiten. Σαn = ewegte Masse Max. bewegte Masse ewegte Masse (m) Max. bewegte Masse (m max) m max 1 5 (kg) Statisches Moment ängsbelastung M1 = m x g x ( + ) x 10 3 m + Seitenbelastung M2 = m x g x ( + ) x 10 3 uswahlkriterien1 Statisches Moment (M) Zulässiges statisches Moment (M max) m Moment Zulässiges Moment (Statisches Moment/Dynamisches Moment) Durch das Werkstückgewicht erzeugtes Moment in Ruhestellung des Zylinders m M2 Querbelastung M3 = m x g x ( + ) x Dynamisches Moment (Me) Zulässiges dynamisches Moment (Me max) M1 M (mm) M M (N m) M ZX ZR ZM ZY ZH ZU Z ZF ZP ZCU CYV Vakuum- Zubehör M1 m x g M2 Montagefläche Führungsstange m x g M3 m x g M1, 2, 3 : Moment [N m] m: ewegte Masse [kg] : bstand zum astschwerpunkt [mm], : bstand zur Führungsstange [mm] g: Gravitationsbeschleunigung [9.8m/s 2 ] Mittelachse der Führung Mittelachse des Zylinders Dynamisches Moment Durch die Stossbelastung am Hubende erzeugtes Moment We = 5 x 10 3 x m x g x U We: Äquivalente ast zum ufprall [N] m : ewegte Masse [kg] U: Max. Geschwindigkeit [mm/s] g: Gravitationsbeschleunigung [9.8m/s³] ängsbelastung Me1 = 1/3 We( + ) 10 - ³ Mittlerer astkoeffizient Me1 Querbelastung Me3 = 1/3 We( + ) 10 - ³ Mittlerer astkoeffizient Me (mm) We We Montagefläche Führungsstange Mittelachse des Zylinders Mittelachse der Führung

8 auswahl 2 erechnungsformeln zur uswahl Mit Hilfe dieser erechnungsformel werden die elastungsgrade (αn) der unten stehenden Momente ermittelt, wobei die Summe (Σαn) "1" ergibt. Σαn = α1 + α2 + α3 1 Eigenschaft 1. Max. bewegte Masse 2. Statisches Moment 3. Dynamisches Moment elastungsgrad αn α1 = m/m max α2 = M/M max α3 = Me/Me max emerkung Überprüfen Sie m. m max ist die max. bewegte Masse. Überprüfen Sie M1, M2, M3. M max ist das zulässige Moment. Überprüfen Sie Me1, Me3. Me max ist das zulässige Moment. erechnungsbeispiel Va m etriebsbedingungen Zylinder: Montage: Horizontale Wandmontage Max. Geschwindigkeit: U = 300 [mm/s] ewegte Masse: m = 1 [kg] (ohne die Masse des rms) 1 = 50 [mm] 2 = 50 [mm] Max. bewegte Masse Eigenschaft elastungsgrad αn emerkung 2 m α1 = m/m max = 1/5 = 0.20 Überprüfen Sie m Statisches Moment Montagefläche Führungsstange 1 m x g M M2 = m g (1 + ) 10 3 = ( ) 10 3 = 0.96 [Nm] α2 = M2/M2 max = 0.96/4 = 0.24 Überprüfen Sie M2. Da weder ein M1 und M3 -Moment erzeugt wird, ist keine Überprüfung erforderlich. 3. Dynamisches Moment We We Me3 Me1 W W 2 1 Mittelachse der Führung Montagefläche Führungsstange We = 5 x 10 3 m g U = 5 x = 14.7 [N] Me3 = 1/3 We(2 + ) 10 3 = 1/ ( ) 10 3 = 0.38 [Nm] α3a = Me3/Me3 max = 0.38/3 = 0.13 Me1 = 1/3 We (1 + ) 10 3 = 1/ ( ) 10 3 = 0.48 [Nm] α3b = Me1/Me1 max = 0.48/3 = 0.16 Überprüfen Sie Me3. Überprüfen Sie Me1. Σαn = α1 + α2 + (α3a + α3b) = ( ) = 0.73 Ergebnis der Gleichung ist Σαn = Der Zylinder kann verwendet werden

9 auswahl 3 Schlittenabweichung nm.) uswahlkriterien 2 Schlittenabweichung durch ängsbelastung bweichung (mm) Schlittenabweichung durch Seitenbelastung (M1) (M2) (M3) Schlittenabweichung durch Querbelastung Moment (Nm) Moment (Nm) Moment (Nm) (M1) (M2) (M3) bweichung (mm) F M1 = F x bweichung (mm) bweichung (mm) F Mittelachse der Führung M2 = F x bweichung (mm) bweichung (mm) F M3 = F x Mittelachse der Führung nm.)bweichung: bweichung am Punkt bei Krafteinwirkung am Punkt F Punkt : Messpunkt ZX ZR ZM ZY ZH ZU Z ZF ZP ZCU CYV Vakuum- Zubehör Moment (Nm) Moment (Nm) Moment (Nm) Vertikaler etrieb ei vertikalem etrieb sollte ein Schutz gegen Herabfallen des Werkstücks aufgrund der zu geringen Magnethaltekraft berücksichtigt werden. Die zulässige bewegte Masse und der max. etriebsdruck sollten den Werten der unten stehenden Tabelle entsprechen. Zulässige bewegte Masse mv (kg) 1 5 Max. etriebsdruck Pv (MPa) 0.3 Zwischenstopps Der Dämpfungseffekt (ruckfreier Start, Stopp) wirkt nur vor Erreichen des Hubendes innerhalb des in der unten stehenden Tabelle angegebenen Hubbereichs. ei Verwendung eines externen Stoppers wird kein Dämpfungseffekt (ruckfreier Start, Stopp) bei einem Zwischenstopp oder Wiederanfahren aus einer Zwischenposition erreicht. ei Durchführung von Zwischenstopps sollte unter erücksichtigung der obigen nmerkungen Massnahmen zur Verhinderung von Partikelbildung getroffen werden und der etriebsdruck auf max. 0.3 MPa eingestellt werden. Dämpfungshub Hub (mm)

10 Produktspezifische Sicherheitshinweise 1 Vor Inbetriebnahme durchlesen. etrieb chtung 1. Öffnen Sie die Innenhülle der doppelten Verpackung des Reinraumprodukts in einem Reinraum o.ä. 2. Montieren Sie den Zylinder nicht mit blossen Händen. Die usgasungseigenschaften könnten verringert werden. 3. Führen Sie den ustausch von Teilen und Demontagearbeiten im Reinraum durch, nachdem Sie die verbleibende Druckluft in den eitungen an den ussenraum entlüftet haben. Montage chtung 1. chten Sie darauf, dass das Zylinderrohr nicht durch Schläge mit anderen Objekten oder unsachgemässe Handhabung deformiert wird. Das Zylinderrohr und die Schlitteneinheit sind in kontaktloser Konstruktion hergestellt. Deshalb können selbst geringe Verformungen oder Positionsveränderungen zu Funktionsstörungen und verminderter ebensdauer oder einer erhöhten Partikelbildung führen. 2. Die Gleitführungen dürfen nicht durch Schläge mit anderen Objekten zerkratzt oder eingedrückt werden. 3. Der Schlitten wird von Präzisionsführungen gehalten; achten Sie deshalb bei der Montage von Werkstücken darauf, dass keine starken Stosskräfte oder übermässigen Momente auf den Schlitten wirken. 4. Der Zylinder kann mit einer direkt angebauten ast betrieben werden, sofern diese innerhalb des zulässigen ereichs liegt. Richten Sie jedoch bei nbau einer ast mit externem Führungsmechanismus diese sorgfältig aus. Da die bweichung mit der Hublänge zunimmt, sollte eine nbaumethode gewählt werden, bei der die bweichung absorbiert wird und bei der keine Interferenzen innerhalb des Hubes auftreten. Ziehen Sie auch gegebenenfalls Massnahmen zur Verhinderung von Partikelbildung in etracht. 5. Vergewissern Sie sich vor dem etrieb, dass die Endplatten auf beiden Seiten sicher befestigt sind. Vermeiden Sie nwendungen, in denen der Schlitten oder nur eine Platte befestigt ist. 6. Setzen Sie den Zylinder erst nach Überprüfen der etriebsbedingungen ein. Schliessen Sie nach Durchführung von Montage oder Reparaturarbeiten die Druckluft- und Stromversorgung an und überprüfen Sie die Montage anschliessend anhand geeigneter Funktions- und eckagetests. 7. edienungshandbuch Das Produkt sollte erst montiert und in etrieb genommen werden, nachdem das Handbuch aufmerksam gelesen und der Inhalt verstanden worden ist. ewahren Sie das Handbuch an einem Ort auf, an dem jederzeit Einsicht genommen werden kann. etrieb chtung 1. Der max. etriebsdruck für den kolbenstangenlosen Zylinder für Vakuum beträgt 0.3MPa Wird der max. etriebsdruck von 0.3MPa überschritten, kann sich die Magnetkupplung lösen, wodurch die Gefahr von Funktionsstörungen oder erhöhter Partikelbildung usw. entsteht. etrieb chtung 2. Treffen Sie bei vertikalem etrieb Sicherheitsmassnahmen gegen ein mögliches Herabfallen des Werkstücks durch das ösen der Magnetkopplung. ei vertikalem etrieb ist besondere Vorsicht geboten, da die Gefahr des Herabfallens des Werkstücks durch ösen der Magnetkopplung besteht, wenn eine ast (Druck) überhalb des zulässigen Werts verwendet wird. 3. etreiben Sie den Zylinder nicht, wenn die Magnetkupplung aus ihrer Position verrutscht ist. Drücken Sie den externen Schlitten (oder den Gleitkolben durch Zufuhr von Druckluft) in die richtige Position am Hubende zurück, wenn die Magnetkupplung aus der Position verrutscht ist. (Drücken Sie den externen Schlitten nicht mit blossen Händen.) 4. Schmieren Sie den Zylinder nicht, da es sich um ein lebensdauergeschmiertes Produkt handelt. Das Zylinderinnere ist ab Werk geschmiert. Eine Schmierung mit Turbinenöl usw. kann zur eeinträchtigung der technischen Daten führen. 5. Führen Sie keine weitere Schmierung durch. Führen Sie keine weitere Schmierung durch, da dies zu einer erhöhten Partikelbildung oder eeinträchtigung der spezifischen etriebswerte führen kann. 6. Verwenden Sie den Zylinder in Umgebungen mit Edelgasen. Korrosive Gase können zur Korrosion des Zylinders oder einer verminderten ebensdauer führen. 7. Für den Einsatz des Zylinders muss ein Umgebungsdruck von atmosphärischem Druck bis 1.3 x 10-4 Pa (S) eingehalten werden. Wird der Zylinder bei Druckverhältnissen unterhalb dieser Werte verwendet, tritt eine übermässige Verdampfung des Schmierfetts der Führung auf, die zu einer Kontamination der Umgebung und einer verminderten ebensdauer führt. 8. Stellen Sie die ufheiztemperatur auf max. 150 C ein. ei höheren Temperaturen tritt eine übermässige Verdampfung des Schmierfetts auf, die zu einer Kontamination der Umgebung und einer verminderten ebensdauer führt. 9. Die Positionierung des Zylinders sollte unter Verwendung eines optischen Sensors von der ussenseite der Kammer durchgeführt werden. m Zylinder kann kein Sensor zur Positionierung montiert werden. Steckverbindung chtung 1. Für den kolbenstangenlosen Zylinder für hohes Vakuum wird eine Steckverbindung mit O-Ring verwendet. Verwenden Sie eine Steckverbindung mit den unten stehenden bmessungen und montieren Sie diese so, dass keine Druckluftleckage auftritt. P (nschlussgrösse) P (nschlussgrösse) 5/16-24 UNF 7/16-20 UNF 2. Die Steckverbindungen und eitungen sollten vor dem nschliessen gründlich durchgeblasen und gereinigt werden, um Öl und andere Verunreinigungen zu entfernen

11 Produktspezifische Sicherheitshinweise 2 Vor Inbetriebnahme durchlesen. Geschwindigkeitseinstellung chtung 1. Zur Geschwindigkeitseinstellung wird ein Drosselrückschlagventil für Reinraum empfohlen. 2. Montieren Sie das Drosselrückschlagventil ausserhalb der Kammer. 3. ei vertikaler Montage wird ein abluftgesteuertes System empfohlen. (Dieses ist zur Vermeidung von Verzögerungen beim Start der ufwärtsbewegung und zur ufterhaltung wirksam.) Dämpfungseffekt (Dämpfung mit Sinusfunktion) und Hubeinstellung chtung 1. Eine Dämpfung (ruckfreier Start, Stopp) mit Sinusfunktion ist standardmässig inbegriffen. ufgrund der Eigenschaften der Dämpfung mit Sinusfunktion ist eine Einstellung des Dämpfungseffekts nicht möglich. Eine Dämpfungseinstellung per Einstellnadel wie im Fall herkömmlicher Dämpfungsmechanismen ist nicht vorhanden. 2. Die Hubeinstellung ist ein Mechanismus zur npassung des Hubendes des Schlittens an einen mechanischen Stopper eines anderen Geräts usw. (Einstellbereich: Summe beider Seiten 4 bis 0mm) Zur Gewährleistung der Sicherheit sollten vor der Einstellung die ntriebsluft abgeschaltet, der Restdruck entlüftet und Schutzmassnahmen gegen das Herabfallen des Werkstücks getroffen werden. 1) ösen Sie die Schraube des Innengehäuses mit einem Sechskantschlüssel. 2) Um die Zylinderposition auf einen mechanischen Stopper eines anderen Geräts auszurichten, drehen Sie die Hubeinstellschraube (Innengehäuse) mit einem Sechskantschlüssel nach links oder rechts, um das Innengehäuse nach vorne oder hinten zu bewegen. 3) Die max. Einstellung an einer Seite beträgt 2 bis 0mm. Durch Einstellung an beiden Seiten kann insgesamt ein Einstellbereich von 4 bis 0mm erreicht werden. 4) Ziehen Sie nach vollzogener Einstellung die Schraube des Innengehäuses mit einem Sechskantschlüssel fest. nzugsdrehmoment der Schraube des Innengehäuses [N m] Schraubengrösse nzugsdrehmoment M3 0.3 M Platte Wartung chtung 1. Das Zylinderrohr und die inearführung usw. dürfen nicht zerlegt werden. Der Schlitten könnte beim Zerlegen mit der ussenfläche des Zylinderrohrs in Kontakt kommen, was zu einer erhöhten Partikelbildung führt. 2. Wenden Sie sich bzgl. des ustausches von Dichtungen und agern (Kolbenführungsband) an SMC. 3. Wenden Sie sich an SMC, wenn ein Zylinder versehentlich einem korrosiven Gas ausgesetzt wurde. Ermitteln Sie vorher die ezeichnung des Gases. Kennlinie zur Partikelbildung chtung 1. Um den Grad der Partikelbildung beizubehalten sollte als Richtlinie ein etriebszyklus von 1 Million Zyklen oder eine Gesamtstrecke von 200km berücksichtigt werden. (Tabelle 1) Wird der etrieb über diese empfohlenen Werte hinaus fortgesetzt, können Schmierprobleme der inearführung und erhöhte Partikelbildung auftreten. Tabelle 1 etriebszyklen (10,000) Hub (mm) ZX ZR ZM ZY ZH ZU Z ZF ZP ZCU CYV Vakuum- Zubehör Hubeinstellschraube (Innengehäuse) Sechskantschlüssel Richtung Schraube Innengehäuse + Richtung

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