Nanotechnologie ist unsere Spezialität. Präzision ist unsere Leidenschaft.

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1 NANOWORLD Nanotechnologie ist unsere Spezialität. Präzision ist unsere Leidenschaft. Innovation und Erfindergeist sind die Schlüssel zu unserem Erfolg. Kein Wunder, denn unser Firmensitz ist in der Schweiz, einer der dynamischsten und innovativsten Regionen Europas. Unsere Kunden erzielen mit unseren hochpräzisen Messsonden und gestützt auf unsere Erfahrung die besten Ergebnisse in der Rastersonden- und der Rasterkraftmikroskopie. POINTPROBE ARROW PYREX-NITRIDE Hauptmerkmale die weltweit am meisten verwendete und bekannteste Rasterkraftsonde Siliziumsonde für hoch auflösende Aufnahmen Ausrichtungsgruben auf der Rückseite des Haltechips typischer Spitzenradius < 8 nm garantiert maximal 12 nm erhältlich mit verschiedenen Spitzenformen Hauptmerkmale einfache Positionierung durch maximierte Sichtbarkeit der Spitze dreiseitige, durch echte Kristallebenen definierte Spitze Spitze am äußersten Ende des Federbalkens typischer Spitzenradius < 10 nm garantiert maximal 15 nm Hauptmerkmale Federbalken und Spitze aus Siliziumnitrid Haltechip aus Pyrex Glas ausgelegt für verschiedene Anwendungen im Kontakt- oder Dynamischen Modus oxid-angeschärfte pyramidenförmige Spitze typischer Spitzenradius < 10 nm erhältlich mit dreieckigem oder rechteckigem Federbalken

2 POINTPROBE SILIZIUM RASTERKRAFTSONDEN Die weltweit am meisten verwendete Rasterkraftsonde hoher Qualität Pointprobe Spitze (Standard) Die Standard Pointprobe Spitze hat die Form einer Pyramide mit einer polygonförmigen Basis. Der makroskopische halbe Öffnungswinkel der Spitze beträgt 20 bis 25 in der Achse des Federbalkens, 25 bis 30 von der Seite gesehen und nahezu null am äußersten Ende der Spitze. Die Pointprobe Spitze ist µm hoch und hat einen typischen Spitzenradius von kleiner als 8 nm (maximal 12 nm garantiert). Pointprobe Spitze Allgemein Rasterkraftsonde für hoch auflösende Aufnahmen in allen gebräuchlichen und kommerziell erhältlichen Rastersondenmikroskopen zu verwenden Federbalken und Spitze werden monolithisch von einem Haltechip aus Siliziumeinkristall gehalten Materialeigenschaften hochdotierter Siliziumeinkristall (spezifischer elektrischer Widerstand Ohm. cm) keine intrinsische Spannung, vollkommen gerader Federbalken chemisch inertes Silizium, geeignet für Anwendungen in Flüssigkeiten oder elektrochemischen Zellen Pointprobe Seitenansicht Federbalken rechteckiger Federbalken mit trapezförmigem Querschnitt die breite, dem Detektor zugewandte Seite vereinfacht die Einstellung des Lasers der geringe Querschnitt auf der Spitzenseite verringert die Dämpfung Haltechip der Haltechip aus Silizium ist monolithisch mit Federbalken und Spitze verbunden die Abmessungen der Haltechips sind sehr reproduzierbar (1,6 mm x 3,4 mm). Ausrichtungsgruben auf der Rückseite des Haltechips ermöglichen einen schnellen Austausch der Rasterkraftsonde ohne Neujustieren des Lasers, falls unser Alignment Chip verwendet wird. Pointprobe 3D-Ansicht Packungsgrößen Kleinpackungen zu je 10, 20 oder 50 Rasterkraftsonden ganze Wafer von 380 bis 388 Rasterkraftsonden je nach Typ ERHÄLTLICHE BESCHICHTUNGEN Reflektierende Beschichtung 30 nm dicke Aluminiumbeschichtung auf der Detektorseite (Rückseite) der Rasterkraftsonde erhöht die Reflektanz des Laserstrahls um den Faktor 2,5 Hart- und weichmagnetische Beschichtung hartmagnetische Beschichtung: Spitze beschichtet mit einer Kobaltlegierung permanente Magnetisierung der Spitze Weichmagnetische Beschichtung der Spitze: Koerzitivfeldstärke von ca. 0,75 Oe, Remanenz von ca. 225 emu/cm 3 )

3 SuperSharpSilicon Tip (SSS) Mit unserer SuperSharpSilicon Spitze erreichen Sie eine höhere Auflösung von Mikrorauhigkeit und Nanostrukturen. Den Spitzenradius von nur 2 nm erzielen wir mit einem innovativen Herstellungsprozess. SuperSharpSilicon TM Tip (SSS) Spitzeneigenschaften Die Spitzenhöhe ist µm und der typische Spitzenradius der SuperSharpSilicon Tip beträgt 2 nm (garantiert kleiner als 5 nm bei einer garantierten Ausbeute von 80%). Der halbe Öffnungswinkel über die letzen 200 nm der Spitze ist kleiner als 10. High Aspect Ratio Tip (AR5) High Aspect Ratio Tip (AR5/AR5T) Die High Aspect Ratio Tips wurden speziell für die Messung von Materialproben entwickelt, deren Strukturen Seitenwände mit Winkeln von annähernd 90 aufweisen, z.b. tiefe Gruben oder andere Anwendungen im Halbleiterbereich. Für solche Anwendungen bieten wir zwei verschiedene Spitzen mit einem hohen Aspektverhältnis und fast senkrechten Seitenwänden an. Diese Spitzen eignen sich mit ihrer Gesamthöhe von µm für die Messung sehr rauher Materialproben. Über die letzten Mikrometer weisen die Spitzen einen Abschnitt mit sehr hohem Aspektverhältnis auf. Dieser Abschnitt ist symetrisch sowohl von der Seite gesehen als auch in der Achse des Federbalkens. Der typische Spitzenradius beträgt 10 nm (garantiert maximal 15 nm). Spitzeneigenschaften Der Abschnitt der AR5 Tip mit dem hohen Aspektverhältnis weist die folgenden Eigenschaften auf: Das Aspektverhältnis beträgt typischerweise 7:1 (mindestens 5:1 garantiert). Der betreffende Abschnitt der ist länger als 2 µm. Der halbe Öffnungswinkel dieses Abschnitts ist dadurch typischerweise kleiner als 5. Darüberhinaus ist dieser Abschnitt beim AR5T um 13 geneigt, um eine absolut symmetrische Abbildung zu ermöglichen. Tilt compensated AR5T Diamond Coated Tip (DT), Conductive Diamond Coated Tip (CDT) Für Anwendungen, die einen harten Kontakt zwischen der Rasterkraftsonde und der Materialprobe erfordern, empfehlen wir unsere Diamond Coated Tip (DT). Diese Spitzen eignen sich zum Beispiel für Reibungskraftmessungen, Messungen der elastischen Eigenschaften von Materialproben, Abnutzungsmessungen und die Nanostrukturierung. Das Besondere an der Conductive Diamond Coated Tip (CDT) ist ihre leitfähige, nicht passivierte Beschichtung. Diamond Coated Tip (DT, CDT) Spitzen- und Beschichtungseigenschaften Die Beschichtung mit echtem polykristallinem Diamant verleiht der Spitzenseite des Federbalkens die unübertroffene Härte von Diamanten. Die Spitzen sind µm hoch. Die Diamantbeschichtung ist gegen 100 nm dick. Der makroskopische Spitzenradius liegt im Bereich von nm. Die Spitze weist jedoch häufig eine Nanorauhigkeit im Bereich von 10 nm auf. Im Fall der CDT bewegt sich die Leitfähigkeit im Bereich von 0,003-0,005 Ohm cm. Diamantbeschichtung 100 nm dicke Beschichtung mit polykristallinem Diamant auf der Spitzenseite unübertroffene Härte der Spitze PtIr5 Beschichtung insgesamt 25 nm dick beschichtet mit Chrom und mit Platin-Iridium 5 (PtIr5) ohne Verbiegung und verschleissbeständig die Beschichtung der dem Detektor zugewandten Seite verstärkt die Reflektanz des Laserstrahls um den Faktor 2 ermöglicht elektrische Messungen Gold (auf Anfrage) insgesamt 70 nm dicke Beschichtung mit Chrom und mit Gold auf der Rückseite des Federbalkens insgesamt 70 nm dicke Beschichtung mit Chrom und mit Gold auf beiden Seiten der Messsonde

4 ARROW SILIZIUM RASTERKRAFTSONDE Einfache Positionierung durch maximierte Sichtbarkeit der Spitze Allgemein Messsonde für hochauflösende Aufnahmen in allen gebräuchlichen Rastersondenmikroskopen zu verwenden Haltechip aus Silizium monolithisch mit Federbalken und Spitze verbunden Arrow TM Draufsicht Materialeigenschaften hochdotierter Siliziumeinkristall (spezifischer elektrischer Widerstand 0,01-0,025 Ohm cm) keine intrinsische Spannung, vollkommen gerader Federbalken chemisch inertes Silizium für Anwendungen in Flüssigkeiten oder elektrochemischen Zellen Federbalken rechteckiger Federbalken mit dreieckig zulaufendem freien Ende einfache Positionierung der Spitze über der Materialprobe dank der Pfeilform des Arrow stets gleicher Abstand zwischen Spitze und Ende des Federbalkens vereinfachte Einstellung des Lasers durch trapezförmigen Querschnitt mit breiter, dem Detektor zugewandter Seite Arrow TM Frontansicht Haltechip die Abmessungen des Haltchips sind sehr reproduzierbar (1,6 mm x 3,4 mm) Haltechip mit angeätzten Ecken zur Vermeidung von Kontakten zwischen Chip und Materialprobe Spitze Spitzenhöhe µm typischer Krümmungsradius < 10 nm (< 15 nm garantiert) makroskopischer halber Öffnungswinkel: - 30 bis 35 in der Achse des Federbalkens - 20 bis 25 von der Seite betrachtet Arrow TM Seitenansicht Packungsgrößen kleine Packungsgrößen zu je 10, 20 oder 50 Messsonden kompletter Wafer mit mindestens 380 Messsonden ERHÄLTLICHE BESCHICHTUNGEN Reflektierende Beschichtung 30 nm dicke Aluminiumbeschichtung auf der Detektorseite (Rückseite) der Rasterkraftsonde erhöht die Reflektanz des Laserstrahls um den Faktor 2,5 Andere Beschichtungen auf Anfrage PtIr5 Beschichtung insgesamt 25 nm dicke Beschichtung mit Chrom und mit Platin-Iridium 5 (PtIr5) verbessert die Leitfähigkeit und ermöglicht elektrische Messungen

5 A R R O W Ultra High Frequency Scanning Probes (UHF) A R R O W Tipless Cantilevers and Cantilever Arrays (TL) 35 µm Arrow UHF Die Arrow UHF (Ultra High Frequency) Rasterkraftsonde ist aus Silizium, hat einen dreieckigen Federbalken mit einer vierflächigen Spitze und kann mit ultrahohen Frequenzen von bis zu 2.0 MHz schwingen. Arrow TM UHF Die Spitze der Arrow UHF Sonde ist 3 µm hoch. Der Federbalken ist 35 µm lang und an der Basis 42 µm breit. Seine Dicke liegt zwischen 0,6 µm und 1,0 µm. Auf Wunsch selektieren wir spezifische Federbalkendicken innerhalb sehr enger Toleranzen gegen eine Gebühr. Arrow UHF 3D-Ansicht Arrow TL (Federbalken ohne Spitze für spezielle Anwendungen) Dank der spitzenlosen Federbalken sind die NanoWorld Arrow TL Sonden geeignet für Spezialanwendungen. Beispielsweise können am freien Ende des Federbalkens Sphären oder andere Objekte angebracht werden. Der Federbalken kann auch funktionalisiert und als chemischer Fühler eingesetzt werden. Alle Rasterkraftsonden der Arrow Serie werden aus monolithischem Silizium hergestellt. Das Silizium ist hoch dotiert um statische Aufladung abzuleiten. Die Sonden sind chemisch inert. Die Arrow Tipless Sonde (Arrow TL) ist in drei Ausführungen erhältlich: Mit einem einzelnen Federbalken, als Array mit 2 oder mit 8 rechteckigen Federbalken. Das freie Ende der Federbalken ist jeweils dreieckig. Der Arrow TL ist optional mit einer Beschichtung auf der Vorderseite aus Titan (5 nm) und Gold (30 nm) erhältlich. Federbalken Wert Bereich Dicke 1.0 µm µm Breite (rechteckiger Teil) 100 µm µm Länge 500 µm µm Kraftkonstante 0.03 N/m N/m Resonanzfrequenz 6 khz 3-14 khz Arrow TL1 Spitzenloser einzelner Federbalken mit Haltechip aus Siliziumeinkristall Arrow TL2 Array mit zwei spitzenlosen Federbalken mit Haltechip aus Siliziumeinkristall Arrow TL8 Array mit acht spitzenlosen Federbalken mit Haltechip aus Siliziumeinkristall

6 PYREX NITRIDE AFM PROBES Einzigartige Schärfe und Langlebigkeit Allgemein Rasterkraftsonde für eine Vielfalt von Anwendungen im Kontakt- und im Dynamischen Modus in allen gebräuchlichen Rastersondenmikroskopen zu verwenden Federbalken und Spitzen aus Siliziumnitrid Federbalken sind mit einem Haltechip aus Pyrex Glas verbunden vereinzelte Haltechips für eine einfache Handhabung Pyrex-Nitride AFM probe Nahaufnahme Materialeigenschaften spannungsarmes Siliziumnitrid gewährleistet geringstmögliche Verbiegung des Federbalkens ausgezeichnete Härte des Materials für Widerstandsfähigkeit und verlängerte Lebensdauer Federbalken Haltechips mit jeweils vier Federbalken in zwei Versionen: Entweder vier rechteckige oder vier dreieckige Federbalken reflektierende Beschichtung mit Chrom und mit Gold auf der Rückseite des Federbalkens spannungskompensiert mit einer Verbiegung unter 2 Pyrex-Nitride AFM probe Dreieckiger Federbalken, 3D Skizze Haltechip Haltechip aus Pyrex-Glas (3,4 mm x 1,6 mm x 0,5 mm) einfache Handhabung durch Produktpackungen mit vereinzelten Haltechips Spitze oxid-angeschärfte pyramidenförmige Spitzen Spitzenhöhe 3,5 µm, typischer Spitzenradius < 10 nm makroskopischer halber Öffnungswinkel 35 Packungsgrößen Packungen zu je 20 oder 50 Rasterkraftsonden Pyrex-Nitride AFM probe Rechteckiger (Diving Board) Federbalken, 3D Skizze ERHÄLTLICHE BESCHICHTUNGEN Gold insgesamt 65 nm dicke Beschichtung mit Chrom und mit Gold auf der Rückseite der Federbalken verstärkt die Reflektanz des Laserstrahls insgesamt 35 nm dicke Beschichtung mit Chrom und mit Gold auf beiden Seiten des Federbalkens

7 PYREX NITRIDE AFM PROBES Triangular Cantilevers (PNP-TR) Diving Board Shaped Cantilevers (PNP-DB) Triangular Cantilevers (PNP-TR) dreieckige Federbalken vier Federbalken pro Haltechip davon pro Haltechip, jeweils 2 lange und 2 kurze Federbalken reflektierende Beschichtung mit Chrom und mit Gold auf der Rückseite der Federbalken Produktvariante: Beschichtung mit Chrom und mit Gold auf beiden Seiten erhältlich erhältlich als spitzenlose Variante beschichtet mit Chrom und mit Gold auf der Rückseite der Federbalken erhältlich als spitzenlose Variante beschichtet mit Chrom und mit Gold auf beiden Seiten Federbalken Nr. 1 2 Form Dreieckig Gesamtdicke* 600 nm 600 nm Länge 100 µm 200 µm Breite 2 x 13.5 µm 2 x 28 µm Kraftkonstante 0.32 N/m 0.08 N/m Resonanzfrequenz 67 khz 17 khz *Dicke des Federbalkens inklusive Beschichtung Bitte beachten: Bei den oben angegebenen mechanischen Eigenschaften handelt es sich um typische Werte. Diving Board Cantilevers (PNP-DB) rechteckige (Diving Board) Federbalken vier Federbalken pro Haltechip davon pro Haltechip, jeweils 2 lange und 2 kurze Federbalken reflektierende Beschichtung mit Chrom und mit Gold auf der Rückseite der Federbalken Federbalken Nr. 1 2 Form Rechteckig Gesamtdicke* 600 nm 600 nm Länge 100 µm 200 µm Breite 40 µm 40 µm Kraftkonstante 0.48 N/m 0.06 N/m Resonanzfrequenz 67 khz 17 khz *Dicke des Federbalkens inklusive Beschichtung Bitte beachten: Bei den oben angegebenen mechanischen Eigenschaften handelt es sich um typische Werte. Pyrex-Nitride AFM Probe Triangular Tipless Cantilevers Pyrex-Nitride AFM Probe Nahaufnahme eines langen Federbalkens ohne Spitze Pyrex-Nitride AFM Probe Nahaufnahme eines kurzen Federbalkens ohne Spitze

8 PRODUKTÜBERSICHT Contact Mode Non-Contact Mode / TappingMode Weitere Anwendungen Anwendung Typ Beschichtung Vorderseite Beschichtung Rückseite Spitzenform Kraftkonstante Resonanzfrequenz Contact Mode Arrow CONT - - Arrow 0.2 N/m 14 khz CONT - - Pointprobe 0.2 N/m 13 khz Arrow CONTR - Reflex (Al) Arrow 0.2 N/m 14 khz CONTR - Reflex (Al) Pointprobe 0.2 N/m 13 khz Arrow CONTPt PtIr5 PtIr5 Arrow 0.2 N/m 14 khz CONTPt PtIr5 PtIr5 Pointprobe 0.2 N/m 13 khz Contact Mode CONTSC - - (Kurzer Federbalken) CONTSCR - Reflex (Al) Pointprobe 0.2 N/m 25 khz Contact Mode oder PNP-TR (dreieckige Federbalken 1 Reflex 0.32 N/m 67 khz TappingMode - Federbalken) Federbalken 2 (Cr/Au) 0.08 N/m 17 khz PNP-TR-Au (dreieckige Federbalken) Federbalken 2 Spitze 0.08 N/m 17 khz Federbalken 1 Abgeformte Siliziumnitrid N/m 67 khz Cr/Au Cr/Au PNP-DB (rechteckige Federbalken 1 Reflex 0.48 N/m 67 khz - Federbalken) Federbalken 2 (Cr/Au) 0.06 N/m 17 khz Non-Contact / TappingMode Arrow NC - - Arrow 42 N/m 285 khz NCH - - Pointprobe 42 N/m 330 khz Arrow NCR - Reflex (Al) Arrow 42 N/m 285 khz NCHR - Reflex (Al) Pointprobe 42 N/m 330 khz Arrow NCPt PtIr5 PtIr5 Arrow 42 N/m 285 khz NCHPt PtIr5 PtIr5 Pointprobe SSS-NCH - - SuperSharpSilicon AR5-NCHR - Reflex (Al) Hohes Aspektverhältnis (5:1) AR5T-NCHR (neigungskompensiert) - Reflex (Al) Hohes Aspektverhältnis (5:1) 42 N/m 330 khz AR10-NCHR - Reflex (Al) Hohes Aspektverhältnis (10:1) DT-NCHR CDT-NCHR Diamant Reflex (Al) Diamant Non-Contact/ NCST - - Pointprobe Soft-TappingMode NCSTR - Reflex (Al) Pointprobe 7.4 N/m 160 khz Non-Contact / TappingMode NCL - - (langer Federbalken) NCLR - Reflex (Al) Pointprobe NCLPt PtIr5 Ptlr5 SSS-NCL - - SuperSharpSilicon 48 N/m 190 khz AR5-NCLR - Reflex (Al) Hohes Aspektverhältnis (5:1) DT-NCLR CDT-NCLR Diamant Reflex (Al) Diamant Non-Contact / TappingMode (Seiko Non-Contact Mode) Non-Contact / TappingMode (Ultra Hochfrequenz) SEIHR - Reflex (Al) Pointprobe 15 N/m 130 khz SSS-SEIH - - SuperSharpSilicon bis zu Arrow UHF - Reflex (Al) Arrow MHz Force Modulation Mode Arrow FM - - Arrow FM - - Pointprobe Arrow FMR - Reflex (Al) Arrow FMR - Reflex (Al) Pointprobe 2.8 N/m 75 khz DT-FMR CDT-FMR Diamant Reflex (Al) Diamant Electrostatic Force Microscopy Arrow EFM PtIr5 Ptlr5 Arrow EFM PtIr5 Ptlr5 Pointprobe 2.8 N/m 75 khz Magnetic Force Microscopy MFMR Hartmagnetisch Reflex (Al) S-MFMR Weichmagnetisch Reflex (Al) Pointprobe 2.8 N/m 75 khz Federbalken ohne Spitzen (dreieckige Federbalken) Arrow TL1 (1 Federbalken) - - Arrow TL1-Au (1 Federbalken) Ti/Au - Arrow TL2 (Array mit 2 Federbalken) - - Arrow TL2-Au (Array mit 2 Federbalken) Ti/Au - Arrow TL8 (Array mit 8 Federbalken) - - Arrow TL8-Au (Array mit 8 Federbalken) Ti/Au - Silizium, ohne Spitze 0.03 N/m 6 khz NanoWorld AG Headquarters Federbalken 1 Reflex Rue Jaquet-Droz N/m 67 khz PNP-TR-TL - Federbalken 2 (Cr/Au) 2007 Neuchatel, Switzerland 0.08 N/m 17 khz Siliziumnitrid, ohne Spitze Federbalken 1 Phone: +41 (0) N/m khz PNP-TR-TL-Au Cr/Au Cr/Au Federbalken 2 Fax: +41 (0) info@nanoworld.com 0.08 N/m 17 khz Weitere Informationen finden sie auf unserer Webseite NanoWorld AG Tel: +41 (0) Rue Jaquet-Droz 1 Fax: +41 (0) NanoWorld und Pointprobe sind eingetragene Markenzeichen der NanoWorld AG. C.P info@nanoworld.com Bei allen Angaben sind Änderungen vorbehalten Neuchâtel, Schweiz NW-de