Positioniersysteme.

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1 Positioniersysteme

2 Kundenspezifische Positioniersysteme ab Seite 4 Linearmotorachsen ab Seite 9 Planar-Servomotoren und Planarmotoren ab Seite 45 Linearmotorkomponenten ab Seite 55 HIWIN-Rundtische und Torque-Motoren ab Seite 67 Linearmodule ab Seite 79 HIWIN-MAGIC Magnetische Wegmess-Systeme ab Seite 109 Adressen, Response-Formular ab Seite 115 3

3 Positioniersysteme Kundenspezifische Lösungen 1 Kundenspezifische Positioniersysteme Die in diesem Katalog vorgestellten standardisierten Positionierachsen ermöglichen die Realisierung vielfältiger Positionieraufgaben. Für Positionieraufgaben, die nicht mit Standardachsen lösbar sind, stehen Applikationsingenieure bereit, eine optimierte Lösung zu erarbeiten. Das Projektierungsblatt auf der letzten Katalogseite dient der Vorauslegung durch unsere Applikationsingenieure. Auf dieser Doppelseite sind einige kundenspezifische Lösungen aufgeführt. Kundenspezifisch ist manchmal nicht nur die Mechanik. Am Beispiel Planarmotoren war das Kundenspezifische eine spezielle Softwarelösung zur optimalen Integration des Positioniersystems in den Fertigungsprozess. 1.1 Beispiele Wirtschaftliche Montage und Inspektion XY-Gantry-Systeme machen viele Anwendungen besonders wirtschaftlich. Aufbau der Gantry-Achsen aus Standardkomponenten. Standardachsen der LMX1L-Reihe Wiederholbarkeit ± 2 µm Lieferung mit Maschinenbett Mikro- und Makroformen Fräsen und Mikrostrukturieren mit spanenden Werkzeugen und Lasern sind Einsatzgebiete, bei denen Gantry-Systeme Vorteile ausspielen können. Und auch unter wirtschaftlichen Gesichtspunkten können sie überzeugen. eisenlose Motoren LMC Wiederholbarkeit ± 2 µm bewährte Technologie mit hohen Stückzahlen Planarmotoren Servo-Planarmotoren sind für viele Inspektionsaufgaben eine hervorragende technische Plattform. Bei der Leiterplatteninspektion tragen sie optische Sensoren für die lückenlose Kontrolle von aufgedruckten Leiterbahnen und SMD-Bausteinen. durch Luftlagertechnik praktisch verschleißfrei garantierte Ebenheit über den ganzen Verfahrweg (bis 1000 mm x 1000 mm) Wiederholbarkeit ± 3 µm 4

4 Wafer-Qualitätskontrolle auf höchstem Niveau Hochpräzisions-Kreuztische mit Luftlager sind die Voraussetzung für eine Oberflächenkontrolle, die auch den kleinsten Fehler findet. Zum Beispiel in der Waferproduktion für die Elektronik- und Chip-Industrie. Ebenheit ± 2 µm Wiederholbarkeit ± 2 µm Genauigkeit ± 5 µm Mikrosystemtechnik und Waferbearbeitung Absolute Genauigkeit und die Eignung für Reinraumbedingungen sind die Voraussetzung für jeden Antrieb in der Mikrosystemtechnik und der Waferbearbeitung. Linearmotor-Kreuztische sind für solche Aufgaben prädestiniert. Verfahrweg 200 mm x 200 mm, optional 300 mm x 300 mm Ebenheit ± 4 µm über den gesamten Verfahrweg Wiederholbarkeit ± 1 µm über beide Achsen Genauigkeit ± 4 µm über beide Achsen reinraumtauglich Klasse 100, optional Klasse 10 optional vakuumtauglich bis 10-3 mbar Überblick für Laserscanner Hoher Gleichlauf und lange Lebensdauer sind für optische Inspektionssysteme wie Laserscanner ein Muss. Linearmotorachsen mit Luftlager erfüllen diese Bedingungen. keine Reibung, da Luftlager keine Rastkraft, da eisenlose Linearmotoren Verfahrweg bis 1500 mm Horizontale Hochgeschwindigkeits-Heizelement-Schweißmaschine zum Schweißen von Kunststoffen Achsen der LMX1L-Reihe mit absoluter Positionsmessung. keine Kommutierung beim Einschalten erforderlich durch hohe Beschleunigungen kein Ziehen des Kunststoffes beim Entfernen von der Heizplatte zeit-, kraft- und weggesteuerte Schweißungen Reduzierung der Umstellzeit durch hohe Geschwindigkeiten 5

5 Positioniersysteme Glossar 1.2 Glossar Auflösung ist die kleinste Wegstrecke, die vom eingesetzten Wegmess-System erkannt wird. Die erreichbare >Schrittweite liegt durch zusätzliche Faktoren in der Regel über der Auflösung. Beschleunigung ist die Geschwindigkeitsänderung pro Zeiteinheit, also Beschleunigung = Geschwindigkeit/Zeit bzw. a = v/t. Beschleunigungszeit ist definiert als die Zeit, die ein Antrieb aus dem Stand bis zum Erreichen der maximalen Geschwindigkeit benötigt. Dauerdrehmoment, Dauerkraft (siehe auch Kapitel 1.3, F c ) Dauerdrehmoment bzw. Nenndrehmoment (bei rotatorischen Bewegungen) und Dauerkraft bzw. Nennkraft (bei linearen Bewegungen) kann der Motor im Dauerbetrieb abgeben (Einschaltdauer ED = 100 %). Dauerstrom I c (siehe auch Kapitel 1.3, I c ) ist der über längere Zeit angelegte Strom; der maximal zulässige Dauerstrom pro Wicklung wird als Nennstrom bezeichnet. Der Dauerstrom ist dadurch gekennzeichnet, dass die entstehende Verlustleistung nur zu einer Motorerwärmung von etwa 80 C führt. Drehmoment ist die Größe, die bei einem Körper eine Rotationsbewegung bewirkt und damit eine vektorielle Größe, die sich in folgendem Kreuzprodukt ausdrücken lässt: M = r x F 1 Physikalisch wird das Drehmoment in der Einheit Nm = kgm²/s² angegeben. Ebenheit ist ein Maß für die vertikale Geradheit einer Bewegung auf der X-Achse. Eine Abweichung von der absoluten Ebenheit ist eine Verschiebung auf der Z-Achse bei Verfahren auf der X-Achse. Exzentrizität ist bei Rundtischen die Abweichung des Drehmittelpunktes von seiner Position im Verlauf der Drehung. Sie entsteht durch Zentrier- und Lagertoleranzen. Führungsabweichung ist die lineare Abweichung von der Verfahrachse. Sie ist abhängig von der Geradheit (also der Genauigkeit in der Ebene des Schlittens) und der Ebenheit (der Genauigkeit außerhalb der Ebene des Schlittens). Gegen-EMK-Konstante (siehe auch Kapitel 1.3, K u ) ist das Verhältnis zwischen der Gegen-EMK-Spannung (rms) und der Motordrehzahl bzw. Geschwindigkeit (rpm oder m/s). Die Gegen-EMK ist die elektromagnetische Kraft, die bei der Bewegung der Wicklungen im Magnetfeld von Permanentmagneten, z. B. bei einem Servomotor, entsteht. Genauigkeit bzw. eigentlich Ungenauigkeit entspricht der Abweichung zwischen einer angestrebten Sollposition und der tatsächlichen Position. Die Genauigkeit entlang einer Achse ist definiert als die bleibende Differenz von Ist- und Sollposition, nachdem alle eliminierbaren anderen linearen Abweichungen ausgeschlossen wurden. Solche systematischen bzw. linearen Abweichungen sind zurückzuführen auf z. B. Cosinusfehler, Winkelabweichungen, Spindelsteigungsfehler, thermische Ausdehnung etc. Sie wird für alle relevanten Sollpositionen einer Anwendung nach folgender Formel berechnet: Maximum aller Summen systematischer Soll-Ist-Abweichungen +2 sigma (Standardabweichung). Die Genauigkeit darf nicht mit der >Wiederholgenauigkeit verwechselt werden. Geradheit ist ein Maß für die horizontale Geradheit einer Bewegung auf der X-Achse. Eine Abweichung von der absoluten Geradheit ist eine Verschiebung auf der Y-Achse bei Verfahren auf der X-Achse. Kraft, Drehmoment Kraft (bei linearen Bewegungen) bzw. Drehmoment (bei rotatorischen Bewegungen) wird für definierte Bedingungen angegeben, z. B. als Dauerkraft bzw. -drehmoment bei 20 C Umgebungstemperatur 80 C Wicklungstemperatur 100 % Einschaltdauer oder als Spitzenkraft bzw. Spitzendrehmoment. 6

6 Kraftkonstante K f (siehe auch Kapitel 1.3, K f ) ist die wicklungsspezifische Kenngröße, aus der sich durch Multiplikation mit dem Eingangsstrom die resultierende Kraft errechnet als F = I x K f. Magnetische Anziehungskraft F a entsteht zwischen dem Primär- und Sekundärteil von eisenbehafteten Linearmotoren und erzeugt dadurch eine Vorspannung des Antriebssystems, die durch die Führung aufgenommen werden muss. Motorkonstante K m (siehe auch Kapitel 1.3, K m ) bezeichnet das Verhältnis von erzeugter Kraft und Verlustleistung, ist also ein Maß für die Effizienz eines Motors. Schrittweite bzw. die kleinste Schrittweite ist die minimale Wegstrecke, die ein Linearantrieb wiederholbar verfahren kann. Sie ist bestimmt durch die >Auflösung des Linearantriebs zuzüglich der Schrittweite des Motors und aller Fehler im Antriebsstrang (Umkehrspiel, Verwindung usw.) Spitzendrehmoment, Spitzenkraft F p Das Spitzendrehmoment (bei rotatorischen Bewegungen) bzw. die Spitzenkraft (bei linearen Bewegungen) ist die maximale Kraft, die ein Motor für etwa eine Sekunde erzeugen kann. Sie liegt bei HIWIN am Ende des linearen Aussteuerbereiches beim Spitzenstrom I p und ist vor allem beim Beschleunigen und Bremsen von Bedeutung. Spitzenstrom I p (siehe auch Kapitel 1.3, I p ) wird kurzzeitig zur Erzeugung der Spitzenkraft angelegt. Bei HIWIN ist er folgendermaßen definiert: Eisenbehaftete Motoren haben als I p das 2-fache des zulässigen Dauerstroms, eisenlose Motoren haben als I p das 3-fache des zulässigen Dauerstroms. Maximal zulässige Dauer des Spitzenstroms ist 1 Sekunde. Danach muss der Motor auf die Nenntemperatur abkühlen, bevor wieder der Spitzenstrom angelegt werden kann. Steifigkeit entspricht dem mechanischen Verformungswiderstand, den ein Bauteil oder eine Baugruppe einer statischen äußeren Last im eingeschwungenen, statischen Zustand leistet (statische Steifigkeit) bzw. dem elastischen Verformungswiderstand eines Bauteils oder einer Baugruppe gegenüber einer dynamischen, von außen wirkenden Kraft (dynamische Steifigkeit). Taumeln ist die Winkelabweichung der Rotationsachse von Rundtischen im Verlauf der Drehbewegung, also ein Verkippen der Oberfläche des Rundtisches. Ursache sind vor allem Toleranzen in der Lagerung. Wicklungswiderstand R 25 ist die wicklungsspezifische Kenngröße, die den Wicklungswiderstand bei 25 C Wicklungstemperatur angibt. Bei 80 C Wicklungstemperatur erhöht sich der Wicklungswiderstand auf etwa 1,2 x R 25. Wicklungstemperatur T max (siehe auch Kapitel 1.3, T) ist die zulässige Wicklungstemperatur. Die tatsächliche Motortemperatur ist abhängig von den Einbaubedingungen, den Kühlbedingungen und den Betriebsbedingungen und kann daher nur im konkreten Fall ermittelt und nicht errechnet werden. Wiederholgenauigkeit darf nicht mit der absoluten >Genauigkeit verwechselt werden. Eine Linearachse kann eine geringe Genauigkeit, aber eine hohe Wiederholgenauigkeit besitzen. Die unidirektionale Wiederholgenauigkeit wird gemessen, indem eine Sollposition aus einer angemessen großen Entfernung mehrmals in der gleichen Richtung angefahren wird; das Umkehrspiel wirkt sich dabei nicht aus. Bei der Messung der bidirektionalen Wiederholgenauigkeit wird eine Sollposition aus unterschiedlichen Bewegungsrichtungen angefahren; das Umkehrspiel wirkt sich dabei aus. 7

7 Positioniersysteme Typische Kenngrößen 1.3 Typische Kenngrößen Wicklungsunabhängige Kenngrößen F a Relativ konstante Anzugskraft zwischen Primär- und Sekundärteil (Magnetbasis), die durch eine mechanische Führung aufgenommen werden muss F c F p K m P v Motorkraft, die im Nennbetrieb als Dauerkraft verfügbar ist und zu einer Erwärmung von C führt Kurzzeitig erzeugbare Motorkraft, die am Ende des linearen Aussteuerbereiches bei I p erreicht wird und ohne Kühlung zu einer starken Erwärmung führt Motorkonstante, die das Verhältnis von erzeugter Kraft und Verlustleistung ausdrückt, und damit den Wirkungsgrad Die in der Motorwicklung entstehende Wärmeleistung, die in Abhängigkeit von der Betriebsweise (Strom) und den Umgebungsbedingungen (Kühlung) zu einer zeitabhängigen Temperaturerhöhung führt. Im oberen Aussteuerungsbereich (bei I p ) ist P v wegen der quadratischen Abhängigkeit vom Strom besonders hoch, während im Bereich des Nennstromes nur eine relativ geringe Erwärmung eintritt. P v errechnet sich mit Hilfe der Motorkonstante K m für einen Bewegungsabschnitt mit der erforderlichen Kraft F: P v = F/K m ² Wicklungsabhängige Kenngrößen I c Zur Erzeugung der Dauerkraft angelegter Strom I p K f K u Zur kurzzeitigen Erzeugung der Spitzenkraft angelegter Spitzenstrom Wicklungskenngröße, die mit dem Strom die entstehende Kraft ergibt: F = I x K f Wicklungskenngröße, die im generatorischen Betrieb abhängig von der Geschwindigkeit die an den Motorklemmen entstehende Ankergegenspannung ergibt: U g = K u x v R 25 Wicklungswiderstand bei 25 C; bei 80 C steigt dieser auf den ca. 1,2-fachen Wert an. P vp Spitzenverlustleistung bei I p P c T Verlustleistung bei I c Zulässige Wicklungstemperatur, die durch Sensoren bzw. Thermoschalter erfasst wird; die sich einstellende Motoroberflächentemperatur ist abhängig von den konkreten Einbauverhältnissen (Tischgröße) Wärmeabfuhrbedingungen (Kühlung) Betriebsweise und damit vom mittleren Leistungseintrag und kann nur bei Kenntnis dieser Gegebenheiten ermittelt werden. 8

8 2 Linearmotorachsen 2.1 Produktübersicht Seite Typische Merkmale der Linearmotorachsen Seite Lieferumfang Seite Antriebsverstärker für Linearmotorachsen Seite Systemkonfiguration Seite Bestellcodes Seite Linearmotorachsen LMX1E Seite Linearmotorachsen LMX1L-S Seite Linearmotorachsen LMX1L-T Seite Linearmotorachsen LMV1L Seite Linearmotorachsen LMH1L Seite Kreuztische Seite Gantry-Systeme Seite 42 9

9 Positioniersysteme Linearmotorachsen 2 Linearmotorachsen 2.1 Produktübersicht LMX1E Seite 19 Komplettachse mit eisenlosem Motor, Typ LMC hervorragend für Applikationen mit hohen Gleichlaufanforderungen optional Kapselung mit Blechabdeckung oder Faltenbalg auch für Einsatz als Kreuztisch Verfahrwegmessung erfolgt über optisches Wegmess-System, inkremental oder absolut Gesamtlänge bis 4000 mm LMX1L-S Seite 24 Komplettachse mit eisenbehaftetem Motor, Typ LMS besonders geeignet für Applikationen mit hohen Anforderungen an die Dauerkraft optional Kapselung mit Blechabdeckung oder Faltenbalg auch für Einsatz als Kreuztisch Verfahrwegmessung erfolgt je nach Anforderung über optische oder magnetische Wegmess-Systeme, inkremental oder absolut Gesamtlänge bis 4000 mm LMX1L-T Seite 32 Komplettachse mit eisenbehaftetem Motor, Typ LMT Sandwich-Bauweise ermöglicht sehr hohe Kraftdichte ohne statische Belastung der Führungen durch magnetische Anziehung optional Kapselung mit Blechabdeckung oder Faltenbalg Verfahrwegmessung erfolgt je nach Anforderung über optische oder magnetische Wegmess-Systeme, inkremental oder absolut Gesamtlänge bis 4000 mm LMV1L Seite 34 Komplettachse mit eisenbehaftetem Motor, Typ LMS Einsatz als Vertikalachse bei Applikationen mit Greiferanbindung Verfahrwegmessung erfolgt je nach Anforderung über optische oder magnetische Wegmess-Systeme, inkremental oder absolut 10

10 LMH1L Seite 36 Komplettachse mit eisenbehaftetem Motor, Typ LMS Verfahrwegmessung erfolgt inkremental über magnetische Encoder für Anwendungen mit langen Verfahrwegen besonders geeignet (bis 100 m) Kapselung möglich Kreuztische Seite 38 Kombination von Achsen der LMX-Serien mit eisenlosen oder eisenbehafteten Motoren Gantry-Systeme Seite 42 Standardisierte Gantry-Systeme mit eisenlosen und eisenbehafteten Motoren 11

11 Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.2 Typische Merkmale der Linearmotorachsen HIWIN Linearmotorachsen sind direkt angetriebene Achsen mit Linearmotoren, die als Plug-and-Play Lösung konzipiert sind. Standardisierte Energieketten und kundenspezifische Kabelzuführungen sind optional möglich. Es sind frei tragende Komplettachsen mit Wegmess-System, Führungen, Endschalter und wahlweise mit Abdeckungen als Schutz vor Umgebungseinflüssen. Optional ist der Einbau einer Feststellbremse möglich. Bedingt durch den Direktantrieb sind die Linearachsen spielfrei, sehr dynamisch, wartungsarm und können auch mit mehreren Verfahrschlitten ausgestattet werden. Die Linearachsen werden auf Wunsch als Komplettlösung inklusive Antriebsverstärker angeboten. Der Kunde kann den Antriebshersteller frei wählen. Die für die Anpassung des Linearmotors an die Elektronik notwendigen Parameter werden von uns mitgeliefert. mit weiteren Achsen kombinierbar mehrere Verfahrschlitten pro Achse Antrieb reibungslos und verschleißfrei kompakte Bauform, daher geringer Platzbedarf keine Nachjustierung wartungsarm hohe Verfahrgeschwindigkeit ruhiger Lauf extrem präzises und schnelles Positionieren höchste Genauigkeit hohe Standzeit und Zuverlässigkeit 12

12 2.3 Lieferumfang Positive (+) Bewegungsrichtung Die Bewegungsrichtung wird definiert über die Position des Referenzschalters. Als Standard befindet er sich auf der gleichen Seite wie der Endschalterstecker (1). Antriebsverstärker (siehe Seite 14) Der passende Antriebsverstärker wird speziell gemäß den Kundenapplikationen ausgewählt und entsprechend der zu liefernden Linearmotorachse parametriert. Die dynamischen Laufeigenschaften der jeweiligen Linearmotorachsen sind somit gewährleistet. Mögliche Schnittstellen Profibus CAN-Open Sercos Seriell über RS V analog Schritt/Richtung weitere auf Anfrage +Richtung (1) Drei Leitungen Leistungskabel Encoderkabel Endschalterkabel Standardlänge jeweils L = 2 m, optional bis L max = 10 m möglich; die Leitungen sind gemäß CE- und UL- Bestimmungen zertifiziert. Energieführung in Standardausführung oder kundenspezifisch ausgelegt und den Gegebenheiten vor Ort entsprechend angepasst unterschiedliche Abmessungen für zusätzlich mitzuführende Leitungen möglich unterschiedliche Anschraubpositionen möglich Standard-Linearmotorachse unterschiedliche Ausführungen siehe Seiten

13 Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.4 Antriebsverstärker für Linearmotorachsen HIWIN wählt die Antriebsverstärker passend für die jeweilige Applikation bzw. nach Kundenwunsch aus. Unsere Systempartner für Antriebsverstärker sind u. a.: Bosch Rexroth IndraDrive (Advanced) 14

14 2.5 Systemkonfiguration Halterung für Energiekette Motorstecker Verfahrschlitten Forcer Laufwagen Wegmess-System-Stecker Führungsschienen Wegmess-System Laufwagen Anschlagpuffer Anschlagpuffer Endschalter 2 Endplatte Magnetbahn (Stator) Endschalter-Stecker Endschalter 1 Schaltfahne Trägermechanik Allgemeine Technische Daten der Linearmotorachsen Bezeichnung Motortyp v max a max Gesamtlänge Wiederholbarkeit Genauigkeit Geradlinigkeit Ebenheit Seite L max [m/s] [m/s 2 ] [mm] [mm] [mm/300 mm] [mm/300 mm] [mm/300 mm] LMX1E-... LMC 5 100*** /- 0,001* +/- 0,005* +/- 0,005 +/- 0, LMX1L-S... LMS 4 50*** /- 0,001* +/- 0,005* +/- 0,005 +/- 0, LMX1L-T... LMT /- 0,001* +/- 0,005* +/- 0,005 +/- 0, LMV1L-... LMS 1, /- 0,001* +/- 0,005* +/- 0,005 +/- 0, LMH1L-... LMS /- 0,02** +/- 0,05** +/- 0,02 +/- 0,02 36 * Werte gelten für das optische inkrementale Wegmess-System mit 40 µm Periode des sinus/cosinus-signals. ** Werte gelten für das magnetische inkrementale Wegmess-System HIWIN-MAGIC mit sinus/cosinus-signal (s. Seite 109). *** Bei der Verwendung von Faltenbalg-Abdeckungen können sich Einschränkungen bezüglich der maximalen Beschleunigungen ergeben. Das Wegmess-System ist je nach Linearachsentyp bzw. nach Kundenwunsch ein optisches oder ein magnetisches. Als Ausgangssignal wird standardmäßig sin/cos 1 V pp verarbeitet; optional ist auch ein TTL-Signal möglich (s. S. 110ff). Die zulässige Betriebsspannung hängt von dem verwendeten Linearmotortyp ab. Bei den Motortypen LMS und LMT (eisenbehaftete Motoren) ist die maximal zulässige Betriebsspannung AC 480 V. Für die Motorreihe LMC (eisenlose Motoren) beträgt die maximal zulässige Betriebsspannung AC 240 V. 15

15 Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.6 Bestellcodes Linearmotorachsen Bestellcode für Einzel-Linearmotorachsen LM X 1 L S A XXX Linearmotorachse Achsenausführung X = Horizontalachse V = Vertikalachse Anzahl der Achsen 1 = Einzelachse Profilschiene L = Standard für eisenbehaftete Motoren E = Standard für eisenlose Motoren F = Flachbauweise für eisenlose Motoren, max. Länge 1 m C = kundenspezifisch Motortyp Sxx = eisenbehafteter Linearmotor (s. Seite 56) Cxx = eisenloser Linearmotor (s. Seite 60) T37x = eisenbehafteter Linearmotor in Sandwich-Bauweise (s. Seite 62) Energieführung 0 = keine (Standard) 1 = für horizontale Ausrichtung, Größe 15x30 2 = für vertikale Ausrichtung, Größe 15x30 C = kundenspezifisch Abdeckung 0 = keine (Standard) A = Metallabdeckung B = Faltenbalgabdeckung Endschalter 0 = kein 1 = induktiv, PNP (Standard) 2 = optisch, NPN Auftragsnummer der Zeichnung mehrere Forcer, Hall-Sensor, Gewichtsausgleich, Bremse, besondere Montagebohrungen Wegmess-System A = optisch, Periode 40 µm, analog 1Vpp sin/cos (Standard) B = optisch, Periode 20 µm, analog 1Vpp sin/cos C = HIWIN-MAGIC (s. S. 110ff): magnetisch, Periode 1 mm, 1 V pp sin/cos D = HIWIN-MAGIC-IG (s. S. 110ff): magnetisch, Periode 1 mm, 1 Vpp sin/cos Magnetband integriert in Führungsschiene E = optisch, absolut, gekapselt, mit ENDAT-Schnittstelle F = optisch, inkremental, Periode 4 µm, Glasmaßstab G = optisch, digital TTL, Auflösung 1 µm Verfahrlänge [mm] Anzahl der Forcer 16

16 2.6.2 Bestellcode für Kreuztische LM X 2 L S23 S A 1 XXX Linearmotorachse Achsenausführung X = Horizontalachse Anzahl der Achsen 2 = zwei Achsen Profilschiene L = Standard für eisenbehaftete Motoren E = Standard für eisenlose Motoren F = Flachbauweise für eisenlose Motoren, max. Länge 1 m C = kundenspezifisch Motortyp der oberen Achse Sxx = eisenbehafteter Linearmotor (s. Seite 56) Cxx = eisenloser Linearmotor (s. Seite 60 Endschalter 0 = kein 1 = induktiv, PNP (Standard) 2 = optisch, NPN Wegmess-System A = optisch, Periode 40 µm, analog 1V pp sin/cos (Standard) B = optisch, Periode 20 µm, analog 1Vpp sin/cos C = HIWIN-MAGIC (s. S. 110): magnetisch, Periode 1 mm, 1 Vpp sin/cos D = HIWIN-MAGIC-IG (s. S. 110): magnetisch, Periode 1 mm, 1 V pp sin/cos Magnetband integriert in Führungsschiene E = optisch, absolut, gekapselt, mit ENDAT-Schnittstelle F = optisch, inkremental, Periode 4 µm, Glasmaßstab G = optisch, digital TTL, Auflösung 1 µm Verfahrlänge der unteren Achse [mm] Auftragsnummer der Zeichnung mehrere Forcer, Hall-Sensor, Gewichtsausgleich, Bremse, besondere Montagebohrungen Verfahrlänge der oberen Achse [mm] Motortyp der unteren Achse Sxx = eisenbehafteter Linearmotor (s. Seite 56) Cxx = eisenloser Linearmotor (s. Seite 60) 17

17 Positioniersysteme Linearmotorachsen Bestellcode für Gantry-Systeme LM G 2 A S13 S A 2 XXX Linearmotorachse Achsenausführung G = Gantry-System Anzahl der Achsen 2 = zwei Achsen Profilschiene A = Typ A (Standard) C = kundenspezifisch Motortyp der oberen Achse Sxx = eisenbehafteter Linearmotor (s. Seite 56) Cxx = eisenloser Linearmotor (s. Seite 60) Motortyp der unteren Achse Sxx = eisenbehafteter Linearmotor (s. Seite 56) Cxx = eisenloser Linearmotor (s. Seite 60) Wegmess-System A = optisch, Periode 40 µm, analog 1Vpp sin/cos (Standard) B = optisch, Periode 20 µm, analog 1Vpp sin/cos C = HIWIN-MAGIC (s. S. 110): magnetisch, Periode 1 mm, 1 V pp sin/cos D = HIWIN-MAGIC-IG (s. S. 110): magnetisch, Periode 1 mm, 1 Vpp sin/cos Magnetband integriert in Führungsschiene E = optisch, absolut, gekapselt, mit ENDAT-Schnittstelle F = optisch, inkremental, Periode 4 µm, Glasmaßstab G = optisch, digital TTL, Auflösung 1 µm Verfahrlänge der unteren Achse [mm] Auftragsnummer der Zeichnung mehrere Forcer, Hall-Sensor, Gewichtsausgleich, Bremse, besondere Montagebohrungen Endschalter 0 = kein 1 = induktiv, PNP (Standard) 2 = optisch, NPN Verfahrlänge der oberen Achse [mm] 18

18 2.7 Linearmotorachsen LMX1E Linearmotorachsen LMX1E sind mit einem eisenlosen Motor ausgestattet und für Anwendungen mit hohen Gleichlaufanforderungen besonders gut geeignet. Sie können auch in Kreuztischen eingesetzt werden. Sie zeichnen sich aus durch ihren sehr flachen Aufbau. Die Verfahrwegmessung erfolgt über optische Encoder inkremental oder absolut. Die Linearmotorachsen LMX1E besitzen eine sehr hohe Dynamik und sind mit Gesamtlängen von bis zu 4000 mm lieferbar. max. Beschleunigung 100 m/s 2 max. Geschwindigkeit 5 m/s bis 4000 mm lang * Maße C und D sind kundenspezifisch Technische Daten Linearmotorachsen LMX1E Bezeichnung Motortyp F c F p Masse des Länge des v max a max Maß A Maß B (Bestellcode) Verfahrschlittens Verfahrschlittens xxxx = Verfahrweg [mm] [N] [N] [kg] [mm] [m/s] [m/s 2 ] [mm] [mm] LMX1E-CB5-1-xxxx-A100 LMC B LMX1E-CB6-1-xxxx-A100 LMC B LMX1E-CB8-1-xxxx-A100 LMC B , LMX1E-CB5-1-xxxx-A1A0 LMC B , /101 LMX1E-CB6-1-xxxx-A1A0 LMC B , /101 LMX1E-CB8-1-xxxx-A1A0 LMC B , /101 Anmerkungen: F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Seite 60 19

19 Positioniersysteme Linearmotorachsen LMX1E ohne Abdeckung Abmessungen und Gewicht der Achse LMX1E-CB5 ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L [mm] Gewicht [kg] 19 22, ,5 40, ,5 66 Abmessungen und Gewicht der Achse LMX1E-CB6 ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L [mm] Gewicht [kg] 19, ,6 30,2 33,9 37,5 41,2 44,8 52,1 59,4 66,6 20

20 Abmessungen und Gewicht der Achse LMX1E-CB8 ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L [mm] Gewicht [kg] 24,5 28,1 31,7 35, ,7 46,3 53,6 60,8 68,1 21

21 Positioniersysteme Linearmotorachsen LMX1E mit Abdeckung Abmessungen und Gewicht der Achse LMX1E-CB5 mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H - 80 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung [mm] L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung [mm] Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L 1 [mm] Gesamtlänge L 2 [mm] H [mm] Gewicht [kg] 20,3 24, ,7 Abmessungen und Gewicht der Achse LMX1E-CB6 mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H - 80 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung [mm] L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung [mm] Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L 1 [mm] Gesamtlänge L 2 [mm] H [mm] Gewicht [kg] ,9 32,8 36,8 40,7 44,7 48,7 56,6 64,5 72,4 22

22 Abmessungen und Gewicht der Achse LMX1E-CB8 mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H - 80 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung [mm] L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung [mm] Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L 1 [mm] Gesamtlänge L 2 [mm] H [mm] Gewicht [kg] 26,4 30,4 34,3 38,3 42,2 46,2 50,

23 Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.8 Linearmotorachsen LMX1L-S Linearmotorachsen LMX1L-S sind mit einem eisenbehafteten Motor ausgestattet, der hohe Dauerkräfte bietet. Sie können auch in Kreuztischen eingesetzt werden. Die Verfahrwegmessung erfolgt über optische oder magnetische Wegmess- Systeme inkremental oder absolut. Die Linearmotorachsen LMX1L-S sind sehr kompakt gebaut und mit Gesamtlängen von bis zu 4000 mm lieferbar. max. Beschleunigung 50 m/s 2 max. Geschwindigkeit 4 m/s bis 4000 mm lang D* B C* A * Maße C und D sind kundenspezifisch Technische Daten Linearmotorachsen LMX1L-S Bezeichnung Motortyp F c F p Masse des Länge des v max a max Maß A Maß B (Bestellcode) Verfahrschlittens Verfahrschlittens xxxx = Verfahrweg [mm] [N] [N] [kg] [mm] [m/s] [m/s 2 ] [mm] [mm] LMX1L-S23-1-xxxx-A100 LMS , LMX1L-S27-1-xxxx-A100 LMS , LMX1L-S37-1-xxxx-A100 LMS ,5* LMX1L-S37L-1-xxxx-A100 LMS 37L LMX1L-S47-1-xxxx-A100 LMS ,5* LMX1L-S47L-1-xxxx-A100 LMS 47L LMX1L-S57-1-xxxx-A100 LMS LMX1L-S57L-1-xxxx-A100 LMS 57L LMX1L-S67-1-xxxx-A100 LMS LMX1L-S67L-1-xxxx-A100 LMS 67L LMX1L-S23-1-xxxx-A1A0 LMS , /111 LMX1L-S27-1-xxxx-A1A0 LMS , /111 LMX1L-S37-1-xxxx-A1A0 LMS , ,5* /116 LMX1L-S37L-1-xxxx-A1A0 LMS 37L , /116 LMX1L-S47-1-xxxx-A1A0 LMS , ,5* /116 LMX1L-S47L-1-xxxx-A1A0 LMS 47L , /116 LMX1L-S57-1-xxxx-A1A0 LMS * /121 LMX1L-S57L-1-xxxx-A1A0 LMS 57L /121 LMX1L-S67-1-xxxx-A1A0 LMS * /121 LMX1L-S67L-1-xxxx-A1A0 LMS 67L /121 Anmerkungen: 24 F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter der Linearmotoren LMS siehe Seite 56ff * Begrenzt durch Gegen-EMK der Motorwicklung

24 2.8.1 Linearmotorachsen LMX1L-S ohne Abdeckung Abmessungen und Gewicht der Linearachse LMX1L-S23 ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L [mm] Gewicht [kg] 21,0 23,5 27,0 31,0 34,0 37,0 40,0 43,0 50,0 56,0 62,0 68,0 Abmessungen und Gewicht der Linearachse LMX1L-S27 ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L [mm] Gewicht [kg] 27,0 30,0 33,5 37,0 40,0 43,5 46,5 52,0 58,0 64,0 70,0 76,0 25

25 Positioniersysteme Linearmotorachsen Abmessungen und Gewicht der Linearachsen LMX1L-S37 und LMX1L-S37L ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L [mm] Gewicht [kg] Abmessungen und Gewicht der Linearachsen LMX1L-S47 und LMX1L-S47L ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L [mm] Gewicht [kg]

26 Abmessungen und Gewicht der Linearachsen LMX1L-S57 und LMX1L-S57L ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L [mm] Gewicht [kg] Abmessungen und Gewicht der Linearachsen LMX1L-S67 und LMX1L-S67L ohne Abdeckung Alle Angaben in mm Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L [mm] Gewicht [kg]

27 Positioniersysteme Linearmotorachsen Linearmotorachsen LMX1L-S mit Abdeckung Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachse LMX1L-S23 mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H - 90 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung [mm] L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung [mm] Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L 1 [mm] Gesamtlänge L 2 [mm] H [mm] Gewicht [kg] 23,0 26,0 29,5 34,0 37,0 40,0 43,5 46,5 54,0 60,5 67,0 74,0 Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachse LMX1L-S27 mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H - 90 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung [mm] L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung [mm] Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L 1 [mm] Gesamtlänge L 2 [mm] H [mm] Gewicht [kg] 29,5 32,5 36,0 40,0 43,0 47,0 50,0 56,0 62,5 69,0 75,5 82,0 28

28 Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachsen LMX1L-S37 und LMX1L-S37L mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H - 95 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung [mm] L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung [mm] Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L 1 [mm] Gesamtlänge L 2 [mm] H [mm] Gewicht [kg] Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachsen LMX1L-S47 und LMX1L-S47L mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H - 95 L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung [mm] L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung [mm] Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L 1 [mm] Gesamtlänge L 2 [mm] H [mm] Gewicht [kg]

29 Positioniersysteme Linearmotorachsen Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachsen LMX1L-S57 und LMX1L-S57L mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung [mm] L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung [mm] Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L 1 [mm] Gesamtlänge L 2 [mm] H [mm] Gewicht [kg] 48,5 53,0 59,0 65,5 72,0 76,0 73,5 94,0 104,0 114,5 125,0 135,5 Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachsen LMX1L-S67 und LMX1L-S67L mit Abdeckung Alle Angaben in mm h = H L 1 = Gesamtlänge mit Metallabdeckung [mm] L 2 = Gesamtlänge mit Faltenbalgabdeckung [mm] Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L 1 [mm] Gesamtlänge L 2 [mm] H [mm] Gewicht [kg]

30 2.8.3 Montageabmessungen der Linearmotorachsen LMX1L-S Anschlussmaße der Linearmotorachse LMX1L-S E Alle Angaben in mm HxK-Befestigungsbohrung Befestigungsbohrung 2x(N+1)-L Nx128 Anschlussmaße für Linearmotorachsen LMX1L-S, Werte A-L A B C D E F G H K L [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] LMX1L-S , M6 x 1P/12 tief Ø 6,5/dg*, Ø 11/8,5 tief LMX1L-S , M6 x 1P/12 tief Ø 6,5/dg*, Ø 11/8,5 tief LMX1L-S , M8 x 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief LMX1L-S37L , M8 x 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief LMX1L-S , M8 x 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief LMX1L-S47L , M8 x 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief LMX1L-S , M8 x 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief LMX1L-S57L , M8 x 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief LMX1L-S , M8 x 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief LMX1L-S67L , M8 x 1,25P/15 tief Ø 9/dg*, Ø 14/10 tief * dg = durchgehend Anschlussmaße für Linearmotorachsen LMX1L-S, Wert N und Verfahrweg LMX1L-S23 Verfahrweg [mm] N LMX1L-S27 (L) bis -S67(L) Verfahrweg [mm] N

31 Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.9 Linearmotorachsen LMX1L-T Linearmotorachsen LMX1L-T sind Komplettachsen mit eisenbehafteten Motoren. Durch die besondere Auslegung des Motors mit einer Anordnung des Forcers zwischen zwei Statoren (Sandwich-Bauweise) sind die magnetischen Anziehungskräfte aufgehoben. Dadurch wird insbesondere die Führungsschiene entlastet. sehr hohe Kraftdichte durch die Sandwich-Bauweise des Motors entstehen keine magnetischen Anziehungskräfte, so dass die Führungen nicht statisch belastet werden Wegmessung inkremental oder absolut nach Wunsch über optische oder magnetische Encoder Gesamtlänge bis 4000 mm max. Beschleunigung 50 m/s 2 max. Geschwindigkeit 4 m/s * Maße C und D sind kundenspezifisch Technische Daten Linearmotorachsen LMX1L-T Bezeichnung Motortyp F c F p Masse des Länge des v max a max Maß A Maß B (Bestellcode) Verfahrschlittens Verfahrschlittens xxxx = Verfahrweg [N] [N] [kg] [mm] [m/s] [m/s 2 ] [mm] [mm] LMX1L-T37-1-xxxx-A1A0 LMT * LMX1L-T37L-1-xxxx-A1A0 LMT 37L LMX1L-T37D-1-xxxx-A1A0 LMT 37D * LMX1L-T37LD-1-xxxx-A1A0 LMT 37LD Anmerkungen: F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Seite 62ff * Begrenzt durch Gegen-EMK der Motorwicklung 32

32 Abmessungen Linearmotorachse LMX1L-T Alle Angaben in mm Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachsen LMX1L-T37 und LMX1L-T37L, mit Abdeckung Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L [mm] N Gewicht [kg] Abmessungen und Gewicht der Linearmotorachsen LMX1L-T37D und LMX1L-T37LD, mit Abdeckung Verfahrweg [mm] Gesamtlänge L [mm] N Gewicht [kg]

33 Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.10 Linearmotorachsen LMV1L Linearmotorachsen LMV1L sind mit einem eisenbehafteten Motor ausgestattet, der hohe Dauerkräfte bietet. Um eine hohe Dynamik in vertikaler Richtung zu gewährleisten, sind diese Achsen standardmäßig mit pneumatischer Gewichtskompensation ausgestattet. Die Verfahrwegmessung erfolgt je nach Anforderung über optische oder magnetische Encoder inkremental oder absolut. Die Linearmotorachsen LMV1L sind prädestiniert für Applikationen mit Greiferanbindung, bei denen der Greifer vollständig aus dem Übergabebereich herausfährt.die bewegte Nutzlast beträgt bis ca. 20 kg. max. Beschleunigung 30 m/s 2 max. Geschwindigkeit 1,8 m/s Technische Daten Linearmotorachsen LMV1L Bezeichnung Motortyp F c F p Masse des v max a max Verfahrweg (Bestellcode) Verfahrschlittens [N] [N] [kg] [m/s] [m/s 2 ] [mm] LMV1L-S A100 LMS , LMV1L-S A100 LMS , LMV1L-S A100 LMS , LMV1L-S A100 LMS , Anmerkungen: F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Seite 56ff 34

34 Abmessungen Linearmotorachse LMV1L Alle Angaben in mm Gesamtlänge und Gewicht der Linearmotorachsen LMV1L Bestellcode Verfahrweg Gesamtlänge L Gewicht [mm] [mm] [kg] LMV1L-S A LMV1L-S A LMV1L-S A LMV1L-S A

35 Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.11 Linearmotorachsen LMH1L Die Linearmotorachsen LMH1L sind mit zwei unterschiedlichen Trägerprofilen ausgestattet. Das eine ist für Vorschubkräfte bis 1360 N optimiert (LMH1L-S2), das andere für Vorschubkräfte bis 2600 N (LMH1L-S4) LMH1L-S2 Die mit Linearmotoren bestückte Portalachse LMH1L-S2 ist konzipiert als Komplettachse mit Verfahrwegen bis 100 m. Durch die Linearmotortechnologie können mehrere Schlitten unabhängig voneinander positioniert werden. Die Wegmessung erfolgt inkremental und erlaubt Positioniergenauigkeiten bis 0,04 mm. Optional ist ein absolut messendes System möglich. max. Beschleunigung 50 m/s 2 max. Geschwindigkeit 4 m/s bis 100 m Verfahrweg Anschlussmaße Linearmotorachse LMH1L-S2 Montagehinweise: Die Befestigung der Achse am Maschinenbett erfolgt über T-Nuten. Die Kundenmechanik wird ebenfalls über T-Nuten am Verfahrschlitten fixiert. Alle Angaben in mm Technische Daten Linearmotorachsen LMH1L-S2 Bezeichnung Motortyp F c F p Masse des Länge des v max a max (Bestellcode) Verfahrschlittens Verfahrschlittens xxxx = Verfahrweg [mm] [N] [N] [kg] [mm] [m/s] [m/s 2 ] LMH1L-S23-1-xxxx-D000 LMS LMH1L-S27-1-xxxx-D000 LMS LMH1L-S27D-1-xxxx-D000 LMS 27D Anmerkungen: F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Seite 56ff 36

36 Linearmotorachse LMH1L-S4 Die mit Linearmotoren bestückte Portalachse LMH1L-S4 ist konzipiert als Komplettachse mit Verfahrwegen bis 100 m für sehr hohe Dauerkräfte. Durch die Linearmotortechnologie können mehrere Schlitten unabhängig voneinander positioniert werden. Die Wegmessung erfolgt inkremental und erlaubt Positioniergenauigkeiten bis 0,05 mm. Optional ist ein absolut messendes System möglich. max. Beschleunigung 50 m/s 2 max. Geschwindigkeit 4 m/s bis 100 m Verfahrweg Anschlussmaße Linearmotorachse LMH1L-S4 Montagehinweis: Befestigung der Anschlussmechanik über M10-Gewinde im Abstand von 320 mm. Abmessungen Anschraubfläche Alle Angaben in mm Technische Daten Linearmotorachsen LMH1L-S4 Bezeichnung Motortyp F c F p Masse des Länge des v max a max (Bestellcode) Verfahrschlittens Verfahrschlittens xxxx = Verfahrweg [mm] [N] [N] [kg] [mm] [m/s] [m/s 2 ] LMH1L-S47L-1-xxxx-D000 LMS 47L LMH1L-S47LD-1-xxxx-D000 LMS 47LD Anmerkungen: F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Seite 56ff 37

37 Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.12 Kreuztische Die Linearmotorachsen der LMX-Reihe lassen sich alle zu Kreuztischen kombinieren. Am Aufbau der Bestellnummer ist erkennbar, dass praktisch jede Kombination der LMX-Achsen möglich ist. In Kapitel wird ein Kreuztisch mit LMX2E-Achsen vorgestellt. Kapitel zeigt einen Kreuztisch mit LMX2L-Achsen Kreuztisch LMX2E-CB5-CB8 ausgestattet mit eisenlosen Linearmotoren geringe Trägheit und hohe Beschleunigung kein Rastmoment besonders steifer Aluminiumrahmen mit geringer Bauhöhe einfache Montage Technische Daten Kreuztisch LMX2E-CB5-CB8 Bezeichnung Orthogo- Wiederhol- v max a max Motortyp F c F p Masse des (Bestellcode) nalität barkeit Verfahrschlittens xxxx = Verfahrweg [mm] [arc-sec] [mm] [m/s] [m/s 2 ] [N] [N] [kg] LMX2E-CB5 CB8-xxxx-xxxx-A1 +/- 10 +/- 0, obere Achse: LMC B ,5 untere Achse: LMC B Masse obere Achse + 4 Anmerkungen: F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Seite 56ff 38

38 Abmessungen Kreuztisch LMX2E-CB5-CB8 Alle Angaben in mm Anschlussmaße und Gewicht des Kreuztisches LMX2E-CB5-CB8 bei drei beispielhaften Verfahrwegen Bezeichnung Verfahrweg Gesamtlänge N Gewicht Gewicht (Bestellcode) (oberer/unterer) (LX x LY) (obere Achse) (XY-Achse) [mm] [mm] [mm] [kg] [kg] LMX2E-CB5-CB A1 144 x x LMX2E-CB5-CB A1 272 x x ,5 49,5 LMX2E-CB5-CB A1 400 x x

39 Positioniersysteme Linearmotorachsen Kreuztisch LMX2L-S23-S27 ausgestattet mit eisenbehafteten Linearmotoren höhere Vorschubkraft, hohe Beschleunigung besonders steifer Aluminiumrahmen mit geringer Bauhöhe einfache Montage Technische Daten Kreuztisch LMX2L-S23-S27 Bezeichnung Orthogo- Wiederhol- v max a max Motortyp F c F p Masse des (Bestellcode) nalität barkeit Verfahrschlittens xxxx = Verfahrweg [mm] [arc-sec] [mm] [m/s] [m/s 2 ] [N] [N] [kg] LMX2L-S23 S27-xxxx-xxxx-A1 +/- 10 +/- 0, obere Achse: LMS ,5 untere Achse: LMS Masse obere Achse + 9,5 Anmerkungen: F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Seite 56ff 40

40 Abmessungen Kreuztisch LMX2L-S23-S27 Alle Angaben in mm Anschlussmaße und Gewicht des Kreuztisches LMX2L-S23-S27 bei drei beispielhaften Verfahrwegen Bezeichnung Verfahrweg Gesamtlänge N Gewicht Gewicht (Bestellcode) (oberer/unterer) (LX x LY) (obere Achse) (XY-Achse) [mm] [mm] [mm] [kg] [kg] LMX2L-S23-S A1 232 x x ,5 LMX2L-S23-S A1 360 x x ,5 65,5 LMX2L-S23-S A1 706 x x ,

41 Positioniersysteme Linearmotorachsen 2.13 Gantry-Systeme Die standardisierten Gantry-Systeme der LMG2A-Reihe sind Systeme mit einseitigem Stützlager. Der Typ LMG2A-C hat eisenlose Linearmotoren. Der Typ LMG1A-S wird von eisenbehafteten Linearmotoren angetrieben Gantry-System LMG2A-CB6 CC8 ausgestattet mit eisenlosen Linearmotoren geringe Trägheit, hohe Beschleunigung kein Rastmoment steife Aluminiumbrücke einfache Montage Technische Daten Gantry-System LMG2A-CB6 CC8 Bezeichnung Orthogo- Wiederhol- v max a max Motortyp F c F p Masse des (Bestellcode) nalität barkeit Verfahrschlittens xxxx = Verfahrweg [mm] [arc-sec] [mm] [m/s] [m/s 2 ] [N] [N] [kg] LMG2A-CB6 CC8-xxxx-xxxx-A1 +/- 10 +/- 0,002/0, obere Achse: LMC B untere Achse: LMC C Masse obere Achse + 3,5 Anmerkungen: F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Seite 56ff Abmessungen Gantry-System LMG2A-CB6 CC8 Abmessungen des Gantry-Systems LMG2A-CB6 CC8 bei vier beispielhaften Verfahrwegen Ausführung Verfahrweg Verfahrweg Abmessungen (Bestellcode) X-Achse Y-Achse W W1 L [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] LMG2A-CB6 CC A LMG2A-CB6 CC A LMG2A-CB6 CC A LMG2A-CB6 CC A

42 Gantry-System LMG2A-S13 S27 ausgestattet mit eisenbehafteten Linearmotoren höhere Vorschubkraft, hohe Beschleunigung geringeres Rastmoment, gleichmäßige Geschwindigkeit steife Aluminiumbrücke einfache Montage Technische Daten Gantry-System LMG2A-S13 S27 Bezeichnung Orthogo- Wiederhol- v max a max Motortyp F c F p Masse des (Bestellcode) nalität barkeit Verfahrschlittens xxxx = Verfahrweg [mm] [arc-sec] [mm] [m/s] [m/s 2 ] [N] [N] [kg] LMG2A-S13 S27-xxxx-xxxx-A1 +/- 10 +/- 0,002/0, obere Achse: LMS untere Achse: LMS Masse obere Achse + 7 Anmerkungen: F c = Dauerkraft, 100 % Einschaltdauer (ED), bei 80 C Wicklungstemperatur F p = Spitzenkraft (1 s) Elektrische Parameter zu den Linearmotoren siehe Seite 56ff Abmessungen Gantry-System LMG2A-S13 S27 Abmessungen des Gantry-Systems LMG2A-S13 S27 bei vier beispielhaften Verfahrwegen Ausführung Verfahrweg Verfahrweg Abmessungen (Bestellcode) X-Achse Y-Achse W W1 L [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] LMG2A-S13 S A LMG2A-S13 S A LMG2A-S13 S A LMG2A-S13 S A

43 Positioniersysteme Linearmotorachsen 44

44 3 Planar-Servomotoren und Planarmotoren 3.1 Planar-Servomotor LMSP Seite Planarmotor LMPP Seite Steuerkarte PC14P Seite 53 45

45 Positioniersysteme Planar-Servomotoren und Planarmotoren 3 Planar-Servomotoren und Planarmotoren XY-Bewegungen auf einem Luftlager durch einen Planar-Servo-Schrittmotor mit integrierter Wegmessung. Über Kopf und auch im Vakuum betreibbar. 3.1 Planar-Servomotor LMSP Die Planar-Servomotoren LMSP haben integrierte Wegmess-Sensoren und arbeiten mit Positionsregelung (closed loop). XY-Tisch closed loop durch integrierte Wegmessung Schrittmotor ermöglicht einfache Antriebselektronik verschleißfreie Luftlagerung keine extern messbaren Magnetfelder praktisch keine Erwärmung über Kopf einbaubar Statorfläche bis 1000 x 1000 mm vakuumtauglich Konfiguration LMSP mit Servotreiber LMDX Forcer LMSP Stator LMSP Antriebsverstärker LMDX (s. Seite 49) Luftanschluss 3 4 bar Anschlussblock ggf. 24 V Spannungsversorgung für die I/O der Steuerkarte Steuerkarte PCI4P in PC eingebaut (s. Seite 53) 46

46 3.1.2 Technische Angaben des Planar-Servomotors LMSP Anschlussmaße des Planar-Servomotors LMSP (Werte X f siehe Tabelle 3.1, Werte X s siehe Tabelle 3.2) Stator LMSP Alle Angaben in mm Luftanschluss Ø 1/4 (Ø 6 mm) Energieführung D-Sub 25-polig D-Sub 15-polig Forcer LMSPX2 Tabelle 3.1 Technische Daten Planar-Servomotor LMSP Performance Forcer Symbol Einheit LMSPX1 LMSPX2 Max. Vorschubkraft T m N Auflösung R s mm 0,001 0,001 Wiederholgenauigkeit R p mm 0,002 0,002 Genauigkeit A c mm ±0,015 ±0,015 Max. Geschwindigkeit v m/s 0,9 0,8 Max. Last - kg 12,2 24,3 Länge L f mm Breite W f mm Höhe H f mm Luftdruck P a kg/cm Luft-Durchflussrate F a l/min 6,4 11 Masse M f kg 1,8 3,7 Abstand der Montagebohrungen A f x B f mm x mm 146 x 87,5 72 x

47 Positioniersysteme Planar-Servomotoren und Planarmotoren Tabelle 3.2 Abmessungen und Gewicht der Statoren LMSP-P1 bis LMSP-P6 Einheit P1 P2 P3 P4 P5 P6 Stator-Abmessungen L S x W S mm 350 x x x x x x 850 Max. Verfahrweg LMSPX1 mm 190 x x x x x x 660 (ein Forcer) LMSPX2 mm 270 x x x x x 525 Statorhöhe mm Statorgewicht kg Abstand Montagebohrungen A S x B S mm 165 x x x x 576 ( ) 400 x 400 x 280 Zahl der Montagebohrungen Bestellcode für Planar-Servomotoren LMSP LMSP X1 1 P3 Planar-Servomotoren Forcerausführung (s. Tabelle 3.1) X1, X2 Anzahl der Forcer Statorausführung (s. Tabelle 3.2) P1, P2, P3, P4, P5, P6 48

48 3.1.4 Servotreiber LMDX Der Servo-Treiber für den Planar-Servomotor LMSP ist in zwei unterschiedlichen Spannungsversionen und mit einer digitalen I/O-Schnittstellenkarte lieferbar. Abmessungen Servotreiber LMDX Alle Angaben in mm Tabelle 3.3 Technische Daten Servotreiber LMDX Einheit Wert Spannungs- Spannung V AC (Bestellcode LMDX1) versorgung (Bestellcode LMDX2) Frequenz Hz 50/60 Leistung VA 500 (max.) Ausgangsstrom A 3 (max.) Schnittstelle Parametrierung: RS Baud, 8 Datenbits, 2 Stoppbits, ungerade Parität Digitales I/O-Signal DXIO Steckkarte: 8 Eingänge: u.a. HOME und RESET 6 Ausgänge: u.a. IN-POSITION, ALARM, SVON DXIO16 Steckkarte (optional): 16 Eingänge, 16 Ausgänge Puls Puls SCHRITT/RICHTUNG Auflösung µm/puls bis min. 1 (parametrierbar) Gewicht kg 13,3 Max. Betriebstemperatur C 50 49