Praxishandbuch moderne Beschichtungen

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1 2008 AGI-Information Management Consultants May be used for personal purporses only or by libraries associated to dandelon.com network. Klaus W. Mertz Hermann A. Jehn (Hrsg.) Praxishandbuch moderne Beschichtungen Advanced Surface Coatings HANSER

2 VII In haltsverzeic h nis Vorwort... V Kapitel 1: Anwendungen der Plasma- und Dünnschichttechnik Dekorative Schichten Uhren - Schmuck - Schreibwerkzeuge Beschläge. Funktionsteile Kunststoffteile Folien Gewebe für Christo s Reichstags-Verhüllung Neue farbige Deko-Schichten Siliciumorganische Schichten Interferenzfarben von PVD-Niobschichten Farbstoff-Oxid-Kompositschichten Lack-PVD-Kombinationen Tribologische Schichten - Verschleißminderung Abscheidung von Hartstoffschichten Werkzeuge für spanende Bearbeitung Umformwerkzeuge Spritzgießwerkzeuge und Extrudermaschinen Druck- und Papiertechnik Kugellager Bauteile im Maschinenbau Mehrkomponentige und mehrphasige PVD-Hartstoffschichten Tribologische Schichten. Reibungsminderung Kohlenstoffhaltige Schichten Klassifizierung. Herstellung und Eigenschaften kohlenstoffhaltiger Schichten Grundsätzliche tribologische Mechanismen Tribologie von DLC-basierten Schichten an normaler Atmosphäre Auswahlschema zur Bewertung der Einsatzmöglichkeiten von DLC-basierten Beschichtungen Tribologische Anwendungen Reibungsminderung durch Festschmierstoffe

3 Vlll Inhaltsverzeichnis Anwendungen von MoS2-Schichten Raumfahrt - Vakuumtechnologie Industrielle Fertigungsverfahren Maschinenbau Optische Schichten Spiegel und Reflektoren Architekturglas Entspiegelungsschichten Photochrome Schichten Informationsspeicher Compact Disc (CD und CD-ROM) Magnetische Datenspeicher Magnetooptische Datenspeicher Sensorik - Aktorik - Mikrotechnik Sensorik Aktorik Mikrokomponenten und Mikrosysteme Elektrik - Elektronik Kontakte Elektrische Kontaktschichten für Gehäuse Barriereschichten Metallische Barriereschichten SiOx- Schichten für Lebensmittelverpackungen Kohlenstoffbasierte Schichten Biologisch verträgliche Schichten und Medizintechnik Implantate Chirurgische Geräte und Hilfsmittel Korrosionsschutzschichten Korrosionsschutz durch Mehrschichtaufbau Organische Polymerschichten (Paryleneschichten) Oberflächenmodifizierung mit Plasma Hochtemperaturbeständige Schichten Weitere Felder für Beschichtungen Wärmedämmschichten Nanotechnologische Schichten Herstellung und Eigenschaftsspektrum chemischer nanotechnologischer Schichten Anwendungsfelder

4 Inhaltsverzeichnis IX Kapitel 2: Verfahrensgrundlagen PVD-Verfahren Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) PVD-Quellen Verdampfen Kathodenzerstäuben (Sputtern) Schichtstruktur CVD-Verfahren Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) Plasmagestützte chemische Gasabscheidung (PECVD) Verfahrenskombinationen Vorbehandlung - Reinigen und Aktivieren mit Niederdruckplasma Kapitel 3: Prozeß- und Anlagentechnik Gesamtprozeß Prozeßbeschreibung PVD-Beschichtung Der Plasma-Wärmebehandlungs-Prozeß Reinigungstechnik Sonstige Vorbehandlung Anlagentechnik PVD-Batch-Anlagen PVD-In-line-Anlagen Vor- und Nachteile von verschiedenen Anlagenkonzepten Batch-Anlage Plasma-Nitrierbehandlung Kombinationsanlagen Plasmanitrieren/PVD Plasmaoxidieranlagen CVD- und Plasma-CVD-Anlagen Wirtschaftliche Aspekte Kosten von PVD-Verfahren Anwendernutzen der PVD-Technik Kapitel 4: Qualitätsmanagement in der Plasma- und Dünnschichttechnik Qualitätslenkung Qualitätssicherung Substrateigenschaften Schichteigenschaften Bauteilverhalten

5 X Inhaltsverzeichnis 4.3 Prüftechnik in der industriellen Plasma- und Dünnschichttechnik Chemische Zusammensetzung Zerstörungsfreie Prüfung (ZP) Zerstörende Verfahren Glossarund Abkürzungen Autorenverzeichnis Stichwortverzeichnis